[發明專利]用于調平驗證測試的方法及校準光刻投影設備的方法有效
| 申請號： | 201510058612.0 | 申請日： | 2015-02-04 |
| 公開（公告）號： | CN105988302B | 公開（公告）日： | 2018-11-16 |
| 發明（設計）人： | 劉洋;胡華勇;鄧國貴 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市磐華律師事務所 11336 | 代理人： | 董巍;高偉 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 驗證 測試 方法 校準 光刻 投影設備 | ||
【權利要求書】：
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