[發(fā)明專利]檢測彩膜表面形貌的方法及裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510050787.7
• 申請日: 2015-01-30
• 公開（公告）號: CN104596441B
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭楊辰;袁劍峰
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01J3/46
• 代理公司: 北京安信方達知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11262
• 代理人: 張京波,曲鵬

1.一種檢測彩膜表面形貌的裝置，包括相對設(shè)置的光源和光線探測器，其特征在于，該裝置還包括：

第一導軌；

可沿第一導軌移動的底座；

固定在所述底座上、延伸方向與所述第一導軌平行的第二導軌；

所述光線探測器與所述第二導軌相連，并可沿所述第二導軌延伸方向移動；

所述第一導軌上設(shè)有用于使所述底座上的第二導軌與彩膜基板上的每一單色亞像素對齊的多個第一固定點；

所述第二導軌上設(shè)有用于使所述光線探測器對準彩膜基板上每一單色亞像素中多個位置點的多個第二固定點。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述多個第二固定點包括用于使所述光線探測器對準彩膜基板上每一單色亞像素邊緣處的位置點的第二固定點，以及用于使所述光線探測器對準彩膜基板上每一單色亞像素中心處位置點的第二固定點。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括：

檢測單元，用于基于所述第一導軌、所述底座、所述第二導軌以及所述相對設(shè)置的光源和光線探測器對彩膜基板上任一單色亞像素中的多個位置點進行檢測；

第一計算單元，用于根據(jù)來自所述檢測單元的檢測結(jié)果計算所述單色亞像素的彩膜在每一所述位置點處的色度值；

第二計算單元，用于根據(jù)預先設(shè)定的色度值-膜厚關(guān)系由所述第一計算單元得到的每一所述位置點處的色度值計算每一所述位置點處的彩膜膜厚；

第三計算單元，用于根據(jù)所述第二計算單元得到的每一所述位置點處的彩膜膜厚獲取所述單色亞像素的彩膜的表面形貌信息。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述第三計算單元進一步用于根據(jù)所述第二計算單元得到的每一所述位置點處的彩膜膜厚計算所述彩膜的角段差。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，每一單色亞像素中的所述多個位置點均以相同方式設(shè)置；

所述第三計算單元包括：

第一計算模塊，用于計算所有顏色相同的單色亞像素中每一所述位置點處的彩膜膜厚的平均值；

第二計算模塊，用于根據(jù)所述第一計算模塊得到的彩膜膜厚的平均值計算所有所述顏色相同的單色亞像素的彩膜的角段差。

6.根據(jù)權(quán)利要求3至5中任意一項所述的裝置，其特征在于，該裝置還包括：

預檢測單元，用于在第一計算單元計算色度值之前，基于所述第一導軌、所述底座、所述第二導軌以及所述相對設(shè)置的光源和光線探測器對彩膜基板中除彩膜圖案之外的至少部分區(qū)域進行檢測；

所述第一計算單元進一步用于將來自所述預檢測單元的所述至少部分區(qū)域的檢測結(jié)果作為本底成分在來自所述檢測單元的每一所述位置點的檢測結(jié)果中去除，并根據(jù)去除后的檢測結(jié)果計算彩膜在每一位置點處的色度值。

7.一種檢測彩膜表面形貌的方法，其特征在于，包括：

基于分光光度法對彩膜基板上任一單色亞像素中的多個位置點進行檢測得到包括彩膜在多個位置點處的透射光譜的檢測結(jié)果；

根據(jù)每一所述位置點的檢測結(jié)果計算該單色亞像素的彩膜在每一所述位置點處的色度值；

根據(jù)預先設(shè)定的色度值-膜厚關(guān)系由每一所述位置點處的色度值計算每一所述位置點處的彩膜膜厚；

根據(jù)每一位置點處的彩膜膜厚獲取該單色亞像素的彩膜的表面形貌信息。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)每一位置點處的彩膜膜厚獲取該單色亞像素的彩膜的表面形貌信息，包括：

根據(jù)該單色亞像素中多個位置點處的彩膜膜厚計算角段差。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，每一單色亞像素中的所述多個位置點均以相同方式設(shè)置；

所述根據(jù)該單色亞像素中多個位置點處的彩膜膜厚計算角段差，包括：

計算所有顏色相同的單色亞像素中每一所述位置點處的彩膜膜厚的平均值；

根據(jù)所述彩膜膜厚的平均值計算所有所述顏色相同的單色亞像素的彩膜的角段差。

10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任意一項所述的方法，其特征在于，所述根據(jù)每一所述位置點的檢測結(jié)果計算該單色亞像素的彩膜在每一所述位置點處的色度值之前，還包括：

基于分光光度法對彩膜基板上除彩膜圖案之外的至少部分區(qū)域進行檢測；

所述根據(jù)每一所述位置點的檢測結(jié)果計算該單色亞像素的彩膜在每一所述位置點處的色度值，包括：

將所述至少部分區(qū)域的檢測結(jié)果作為本底成分在每一所述位置點的檢測結(jié)果中去除，并根據(jù)去除后的檢測結(jié)果計算彩膜在每一所述位置點處的色度值。