[發明專利]一種組合式硅片片盒裝置

有效

• 申請號: 201510044063.1
• 申請日: 2015-01-28
• 公開（公告）號: CN104576468B
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 任大清
• 申請（專利權）人: 上海集成電路研發中心有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙)31275
• 代理人: 吳世華,林彥之

1.一種組合式硅片片盒裝置，用于存儲硅片，其特征在于，包括片盒本體以及若干個片匣；

所述片盒本體用于容納若干個片匣，其包括片盒門、插槽以及凸起，所述片盒門設于所述片盒本體的側面，用于封閉所述片盒本體，所述插槽設于所述片盒本體的內腔，用于供所述片匣插入，所述凸起設在所述插槽的端部，用于與所述片匣的鎖扣相配合，以固定所述片匣在所述片盒本體內的位置；

所述片匣用于容納單枚硅片，其包括片匣小門以及鎖扣，所述片匣小門設于所述片匣的側面，用于封閉所述片匣，所述鎖扣可控制所述片匣小門的開閉狀態；所述片匣小門與所述片匣為轉軸連接，所述片匣小門上還具有彈性件；其中，當所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起時，所述片匣小門在所述彈性件彈力的作用下打開片匣小門；

其中，當取出單個所述片匣時，所述片匣的鎖扣脫離所述片盒本體的凸起，且所述鎖扣使所述片匣小門處于閉合狀態；當放入單個所述片匣時，所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起，且所述鎖扣使所述片匣小門處于可打開狀態。

2.根據權利要求1所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述彈性件為彈簧。

3.根據權利要求1所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片匣還包括至少一對彈性壓片，所述彈性壓片用于限定所述片匣內硅片的位置。

4.根據權利要求3所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述彈性壓片為柔性件。

5.根據權利要求1～4任一項所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片匣的外側端具有至少一個用于拆裝的把手。

6.根據權利要求1～4任一項所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片匣上還具有便于識別的色卡或標簽。

7.根據權利要求1所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片盒本體內可容納2～10個片匣。

8.根據權利要求1所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片盒本體還包括用于開啟或關閉所述片盒門的門鎖。

9.根據權利要求1所述的組合式硅片片盒裝置，其特征在于，所述片盒本體的上端設有便于抓取的抓取盤。