[發明專利]剝離裝置及剝離方法

有效

• 申請號: 201510042355.1
• 申請日: 2015-01-28
• 公開（公告）號: CN104802498B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: 上野博之;川越理史;柳田隆明;正司和大;增市干雄
• 申請（專利權）人: 斯克林集團公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司72003
• 代理人: 董雅會,向勇

1.一種剝離裝置，用于剝離相互緊貼的第1板狀體和第2板狀體，其特征在于，具有：

保持裝置，保持所述第1板狀體，

上游側剝離裝置，具有對所述第2板狀體的反緊貼面的一部分進行吸附保持的上游側吸附部，該反緊貼面是所述第2板狀體的表面中的與所述第1板狀體相緊貼的面的相反側的面，一邊通過所述上游側吸附部吸附所述第2板狀體一邊使所述上游側吸附部與所述保持裝置相分離，來使所述第2板狀體的被所述上游側吸附部吸附的被吸附部位從所述第1板狀體剝離，來向剝離進展方向剝離所述第2板狀體，

下游側剝離裝置，具有在所述剝離進展方向上的所述被吸附部位的下游側與所述第2板狀體的所述反緊貼相面對地設置的下游側吸附部，在使所述下游側吸附部移動至所述第2板狀體中的被所述上游側剝離裝置剝離的剝離部位來吸附所述剝離部位處的所述反緊貼面后，使所述下游側吸附部以吸附所述第2板狀體的狀態與所述保持裝置分離，來向所述剝離進展方向剝離所述第2板狀體，

監控裝置，監控所述下游側吸附部與所述第2板狀體的所述反緊貼面間的相對位置，

控制裝置，基于與由所述監控裝置獲得的所述相對位置相關的位置信息，控制所述下游側吸附部開始吸附所述第2板狀體。

2.根據權利要求1所述的剝離裝置，其特征在于，

所述下游側剝離裝置具有：

發揮所述下游側吸附部的作用的第1吸附部及第2吸附部，

第1切換部，在向所述第1吸附部供給負壓的狀態與停止供給負壓的狀態之間進行切換，

第2切換部，在向所述第2吸附部供給負壓的狀態與停止供給負壓的狀態之間進行切換；

在所述第1吸附部及所述第2吸附部一體地接近所述剝離部位的期間，通過所述第1切換部停止向所述第1吸附部供給負壓，另一方面，通過所述第2切換部向所述第2吸附部供給負壓，

所述監控裝置具有測量所述第2吸附部的壓力的壓力測量部，將由所述壓力測量部測量的壓力值作為所述位置信息輸出，

所述控制裝置根據在所述第1吸附部及所述第2吸附部向所述剝離部位移動的過程中的所述壓力值的變化，控制所述第1切換部來開始向所述第1吸附部供給負壓。

3.根據權利要求2所述的剝離裝置，其特征在于，所述第1吸附部及所述第2吸附部沿著所述第2板狀體的與所述剝離進展方向垂直的寬度方向排列。

4.根據權利要求3所述的剝離裝置，其特征在于，多個所述下游側吸附部中的位于所述寬度方向的兩端和中央部的所述下游側吸附部是所述第2吸附部，剩下的所述下游側吸附部是所述第1吸附部。

5.根據權利要求2所述的剝離裝置，其特征在于，所述第2吸附部設置在所述剝離進展方向上的所述第1吸附部的下游側。

6.根據權利要求5所述的剝離裝置，其特征在于，

所述下游側剝離裝置的所述下游側吸附部具有：

沿著所述第2板狀體的與所述剝離進展方向垂直的寬度方向排列的多個所述第1吸附部，

個數比所述第1吸附部少的所述第2吸附部。

7.根據權利要求1所述的剝離裝置，其特征在于，

所述下游側剝離裝置具有下游側切換部，該下游側切換部在向所述下游側吸附部供給負壓的狀態與停止供給負壓的狀態之間進行切換，在所述下游側吸附部接近所述剝離部位的期間，停止向所述下游側吸附部供給負壓，

所述監控裝置具有距離測量部，所述距離測量部對所述下游側吸附部向所述剝離部位移動的過程中的所述第2板狀體的所述反緊貼面與所述下游側吸附部之間的距離進行測量來作為所述位置信息，

所述控制裝置控制所述下游側切換部，使得在所述距離為閾值以下的時刻開始向所述下游側吸附部供給負壓。

8.根據權利要求7所述的剝離裝置，其特征在于，所述距離測量部是一邊與所述下游側吸附部一體移動一邊測量所述距離的位移計。