[發(fā)明專利]剝離裝置及剝離方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510042355.1
• 申請日: 2015-01-28
• 公開（公告）號: CN104802498B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 上野博之;川越理史;柳田隆明;正司和大;增市干雄
• 申請（專利權(quán)）人: 斯克林集團(tuán)公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司72003
• 代理人: 董雅會,向勇

技術(shù)區(qū)域

本發(fā)明涉及一種剝離裝置及剝離方法，將相互緊貼的兩片板狀體剝離以使其分離。

背景技術(shù)

作為在玻璃基板或者半導(dǎo)體基板等的板狀體上形成規(guī)定的圖案或者薄膜的技術(shù)，將在其他的板狀體上擔(dān)載的圖案或者薄膜(以下稱為“圖案等”)轉(zhuǎn)印至基板上。在該技術(shù)中，使兩片板狀體緊貼后將圖案等從一個板狀體轉(zhuǎn)印至另一個板狀體后，需要在圖案等不受損傷的情況下將兩片板狀體剝離。

為了達(dá)到上述目的，作為可利用的技術(shù)，例如JP特開2008-287949號公報公開了一種裝置，該裝置用于使隔著有機(jī)層相互緊貼的元件形成用基板和轉(zhuǎn)印用基板剝離。該技術(shù)中，通過基板保持部將貼合的兩片基板保持為水平姿勢，使在分別真空吸附上下基板的狀態(tài)下使上下基板分別向分離方向移動。上下基板通過分散配置的多個吸附墊分別吸附保持。

該JP特開2008-287949號公報上記載的裝置，將吸附頭沿著基板的長度方向以規(guī)定的間隔設(shè)置，該吸附頭的多個吸附墊設(shè)置成列狀。另外，使全部的吸附頭朝向基板的上表面移動，在全部的吸附墊與基板的上表面接觸的狀態(tài)下，對各吸附墊進(jìn)行真空吸引，來通過多個吸附墊吸附上側(cè)的基板。之后，剝離進(jìn)展方向的最上游側(cè)的吸附頭與基板保持部相分離，來剝離基板的一部分，進(jìn)一步使最上游側(cè)起的第2個、第3個、第4個及第5個吸附頭依次與基板保持部分離，來剝離基板。因此，不僅在進(jìn)行最開始的基板剝離時，即通過最上游側(cè)的吸附頭移動來剝離基板時，在以后的吸附頭與基板保持部分離來剝離基板時，有時不能適當(dāng)?shù)墓芾淼那闆r下進(jìn)行剝離，例如不能在吸附部位使局部的基板間剝離等。特別是，第2、第3、第4個吸附頭的吸附墊，大多在形成有圖案等的區(qū)域進(jìn)行抵接，擔(dān)心在該區(qū)域集中作用大的剝離力會對圖案等造成損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供能夠?qū)⑾嗷ゾo貼的兩片板狀體良好且穩(wěn)定地剝離分離的技術(shù)。

本發(fā)明的一個方式為一種剝離裝置，用于剝離相互緊貼的第1板狀體和第2板狀體，其特征在于，具有：保持裝置，保持所述第1板狀體，上游側(cè)剝離裝置，具有對所述第2板狀體的反緊貼面的一部分進(jìn)行吸附保持的上游側(cè)吸附部，該反緊貼面是所述第2板狀體的表面中的與所述第1板狀體相緊貼的面的相反側(cè)的面，一邊通過所述上游側(cè)吸附部吸附所述第2板狀體一邊使所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置相分離，來使所述第2板狀體的被所述上游側(cè)吸附部吸附的被吸附部位從所述第1板狀體剝離，來向剝離進(jìn)展方向剝離所述第2板狀體，下游側(cè)剝離裝置，具有在所述剝離進(jìn)展方向上的所述被吸附部位的下游側(cè)與所述第2板狀體的所述反緊貼相面對地設(shè)置的下游側(cè)吸附部，在使所述下游側(cè)吸附部移動至所述第2板狀體中的被所述上游側(cè)剝離裝置剝離的剝離部位來吸附所述剝離部位處的所述反緊貼面后，使所述下游側(cè)吸附部以吸附所述第2板狀體的狀態(tài)與所述保持裝置分離，來向所述剝離進(jìn)展方向剝離所述第2板狀體，監(jiān)控裝置，監(jiān)控所述下游側(cè)吸附部與所述第2板狀體的所述反緊貼面間的相對位置，控制裝置，基于與由所述監(jiān)控裝置獲得的所述相對位置相關(guān)的位置信息，控制所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體。

本發(fā)明的另一個方式為一種剝離方法，一種剝離方法，用于將相互緊貼的第1板狀體和第2板狀體剝離，其特征在于，包括：保持步驟，通過保持裝置保持所述第1板狀體，第1剝離步驟，一邊通過上游吸側(cè)吸附部吸附所述第2板狀體的反緊貼面的一部分，一邊使將所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置分離，來使所述第2板狀體的被所述上游側(cè)吸附部吸附的被吸附部位從所述第1板狀體剝離，并向剝離進(jìn)展方向剝離所述第2板狀體，其中，該反緊貼面是所述第2板狀體的表面中的與所述第1板狀體相緊貼的面的相反側(cè)的面，移動步驟，使下游側(cè)吸附部朝向所述第2板狀體中的剝離部位處的所述反緊貼面移動，該剝離部位指，在所述剝離進(jìn)展方向上的所述被吸附部位的下游側(cè)，所述上游側(cè)吸附部與所述保持裝置分離從而所述第2板狀體被剝離的部位，監(jiān)控步驟，在所述下游側(cè)吸附部向所述剝離部位處的所述反緊貼?面移動的過程中，監(jiān)控所述下游側(cè)吸附部與所述第2板狀體的所述反緊貼面間的相對位置，調(diào)整步驟，基于與所述相對位置相關(guān)的位置信息，調(diào)整通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體的時機(jī)，第2剝離步驟，在通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體的同時，或者在通過所述下游側(cè)吸附部開始吸附所述第2板狀體之后，使所述下游側(cè)吸附部以吸附所述剝離部位處的所述反緊貼面的狀態(tài)與所述保持裝置分離，來向所述剝離進(jìn)展方向剝離所述第2板狀體。