[發明專利]熔融金屬噴出裝置以及熔融金屬噴出方法

在審

• 申請號: 201510037359.0
• 申請日: 2015-01-26
• 公開（公告）號: CN105097611A
• 公開（公告）日: 2015-11-25
• 發明（設計）人: 倉持敬一;新飼雅芳
• 申請（專利權）人: 三菱電機株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/60
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 何立波;張天舒

1.一種熔融金屬噴出裝置，其將熔融的熔融金屬噴出，并通過噴出的該熔融金屬進行部件的接合，其中，

該熔融金屬噴出裝置具有：

筒狀的壓力缸，在其內部收容所述熔融金屬；

軸，其在所述壓力缸內部滑動，按壓所述熔融金屬；以及

加熱器，其設置在所述壓力缸的周圍，將所述熔融金屬加熱而保持熔融狀態，

所述壓力缸具有：軸滑動部，其用于使所述軸進行滑動；以及噴嘴，其內徑比該軸滑動部小，從前端的開口部噴出所述熔融金屬，

該熔融金屬噴出裝置還具有旋轉機構，該旋轉機構使所述壓力缸以所述噴嘴的延伸方向為旋轉中心而進行旋轉，

對所述噴嘴的內壁施加有防止所述熔融金屬附著的涂層。

2.根據權利要求1所述的熔融金屬噴出裝置，其中，

還具有氣體配管，該氣體配管用于將氣體向所述噴嘴內側吹出。

3.根據權利要求1所述的熔融金屬噴出裝置，其中，

沿所述噴嘴的延伸方向的所述噴嘴的剖面，是朝向開口部的前端較細的形狀，

所述軸的前端是前端較細的形狀，

所述軸的前端與所述噴嘴無間隙地嵌合。

4.根據權利要求1所述的熔融金屬噴出裝置，其中，

還具有噴嘴用加熱器，該噴嘴用加熱器埋入在所述噴嘴中。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的熔融金屬噴出裝置，其中，

在所述噴嘴的內壁上設置有微小的凹凸，

對所述凹凸施加有防止所述熔融金屬附著的涂層。

6.一種熔融金屬噴出方法，其使用熔融金屬噴出裝置，該熔融金屬噴出裝置將熔融的熔融金屬噴出，并通過噴出的該熔融金屬進行部件的接合，

該熔融金屬噴出方法的特征在于，

熔融金屬噴出裝置具有：

筒狀的壓力缸，在其內部收容所述熔融金屬；

軸，其在所述壓力缸內部滑動，按壓所述熔融金屬；以及

加熱器，其設置在所述壓力缸的周圍，將所述熔融金屬加熱而保持熔融狀態，

所述壓力缸具有：軸滑動部，其用于使所述軸進行滑動；以及噴嘴，其內徑比該軸滑動部小，從前端的開口部噴出所述熔融金屬，

該熔融金屬噴出裝置還具有旋轉機構，該旋轉機構使所述壓力缸以所述噴嘴的延伸方向為旋轉中心而進行旋轉，

對所述噴嘴的內側表面施加有防止所述熔融金屬附著的涂層，

熔融金屬噴出方法具有：

工序(a)，在該工序中，在所述噴嘴內部保持有所述熔融金屬的狀態下，通過所述旋轉機構使所述壓力缸旋轉；以及

工序(b)，在該工序中，使所述軸朝向所述噴嘴方向滑動，從所述噴嘴的開口部壓出所述熔融金屬，

同時進行所述工序(a)和所述工序(b)。

7.根據權利要求6所述的熔融金屬噴出方法，其中，

所述熔融金屬噴出裝置還具有氣體配管，該氣體配管用于將氣體向所述噴嘴內側吹出，

所述熔融金屬噴出方法還具有工序(c)，在該工序中，在所述工序(b)之后，穿過所述氣體配管，將惰性氣體向所述噴嘴內側吹出。

8.根據權利要求6所述的熔融金屬噴出方法，其中，

在所述熔融金屬噴出裝置中，

沿所述噴嘴的延伸方向的所述噴嘴的剖面，是朝向開口部的前端較細的形狀，

所述軸的前端是前端較細的形狀，

所述軸的前端與所述噴嘴無間隙地嵌合，

在所述工序(b)中，使所述軸前端與所述噴嘴嵌合。

9.根據權利要求6所述的熔融金屬噴出方法，其中，

所述熔融金屬噴出裝置還具有噴嘴用加熱器，該噴嘴用加熱器埋入在所述噴嘴中，

在所述工序(a)以及所述工序(b)中，使所述噴嘴用加熱器進行動作。

10.根據權利要求6至9中任一項所述的熔融金屬噴出方法，其中，

在所述熔融金屬噴出裝置中，

在所述噴嘴的內側表面上設置有微小的凹凸，

對所述凹凸施加有防止所述熔融金屬附著的涂層。