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[發(fā)明專利]一種常壓二段過程催化固體碳源合成石墨烯的方法有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201510025386.6 申請日: 2015-01-19
公開(公告)號: CN104609406B 公開(公告)日: 2018-04-24
發(fā)明(設(shè)計)人: 胡寶山;楊倩;金燕;方千瑞;董立春 申請(專利權(quán))人: 重慶大學(xué);浙江盛元化纖有限公司
主分類號: C01B32/184 分類號: C01B32/184
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 400044 *** 國省代碼: 重慶;85
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 常壓 二段 過程 催化 固體 碳源 合成 石墨 方法
【權(quán)利要求書】:

1.一種以固體碳源CVD合成石墨烯的方法,其特征在于,利用固態(tài)物質(zhì)沉積技術(shù),在鈷膜金屬襯底上沉積固體碳源無定形碳,制備出固體碳源/催化劑的雙層結(jié)構(gòu),然后采用常壓條件下的二段反應(yīng)過程制備出石墨烯;在第一反應(yīng)階段,設(shè)定反應(yīng)性氣體和稀釋氣體的流量,其中反應(yīng)性氣體H2流量30-80sccm,稀釋氣體Ar流量300-600sccm,將前溫區(qū)升高至目標(biāo)溫度,然后快速將固體碳源/催化劑的雙層結(jié)構(gòu)送入反應(yīng)區(qū),無定形碳與反應(yīng)性氣體在催化劑的作用下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成含碳的氣體物種CxHy;在第二反應(yīng)階段,含碳的氣體物種CxHy經(jīng)載氣流的保護和輸送,在處于下氣流方向的后溫區(qū)的第二種金屬催化劑表面裂解,通過碳源濺射時間的調(diào)控得到不同層數(shù)的石墨烯;反應(yīng)完畢,將第二種金屬催化劑快速冷卻至室溫得到石墨烯;所述的第二種金屬催化劑為金屬銅箔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種以固體碳源CVD合成石墨烯的方法,其特征在于,所述前溫區(qū)的目標(biāo)溫度是,在上氣流方向的前溫區(qū),固體碳源與反應(yīng)性氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成含碳的氣體物種CxHy的溫度區(qū)間值,為600-1000℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種以固體碳源CVD合成石墨烯的方法,其特征在于,所述快速將固體碳源/催化劑的雙層結(jié)構(gòu)送入反應(yīng)區(qū)的技術(shù)是利用磁力裝置將置于前溫區(qū)加熱區(qū)間外的石英托盤推入該溫區(qū)的急快速控制方法。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種以固體碳源CVD合成石墨烯的方法,其特征在于,所述的含碳?xì)怏w物種CxHy為烴類或者由這些烴類衍生的自由基團。

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