[發明專利]一種碳化硅外延爐的半圓形蓋片在審
| 申請號： | 201510018209.5 | 申請日： | 2015-01-14 |
| 公開（公告）號： | CN104695011A | 公開（公告）日： | 2015-06-10 |
| 發明（設計）人： | 孫永強;馮淦;趙建輝 | 申請（專利權）人： | 瀚天天成電子科技（廈門）有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/02 | 分類號： | C30B25/02;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少麗 |
| 地址： | 361000 福建省廈門市湖*** | 國省代碼： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 外延 半圓形 | ||
【權利要求書】：
1.一種碳化硅外延爐的半圓形蓋片，其特征在于：包括大蓋片和小蓋片；大蓋片和小蓋片均為圓環形狀，大蓋片由兩個半圓環蓋片拼接而成，大蓋片中間形成一個圓環形凹槽，小蓋片由復數個扇形圓環蓋片拼接而成，小蓋片安裝在大蓋片的圓環形凹槽內。
2.如權利要求1所述的一種碳化硅外延爐的半圓形蓋片，其特征在于：所述小蓋片材質為碳化硅。
3.如權利要求1所述的一種碳化硅外延爐的半圓形蓋片，其特征在于：所述小蓋片直徑小于或等于大蓋片直徑。
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