[發明專利]一種指向性MEMS麥克風有效
| 申請號： | 201510012442.2 | 申請日： | 2015-08-03 |
| 公開（公告）號： | CN104507029A | 公開（公告）日： | 2015-07-29 |
| 發明（設計）人： | 張慶斌;馮坤;竇建強 | 申請（專利權）人： | 歌爾聲學股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 馬佑平;黃錦陽 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 指向 mems 麥克風 | ||
1.一種指向性MEMS麥克風,其特征在于，包括：
基板；
均設置在所述基板上并且彼此電連接的MEMS芯片和ASIC芯片；
外殼，所述外殼與所述基板相連圍成封裝腔體，所述MEMS芯片和所述ASIC芯片設置在所述封裝腔體內部；
第一聲孔，設置于所述基板上，位于所述MEMS芯片下方；
第二聲孔，設置在所述封裝腔體的所述基板上或所述外殼上；
以及阻尼片，所述阻尼片位于所述第一聲孔和所述MEMS芯片之間并且覆蓋所述第一聲孔。
2.如權利要求1所述的麥克風，其特征在于：所述阻尼片設有密集的通孔。
3.如權利要求1所述的麥克風，其特征在于：所述阻尼片開設有通道，所述通道的一端對準所述第一聲孔，另一端對準所述MEMS芯片。
4.如權利要求3所述的麥克風，其特征在于：所述通道為直線形狀或者彎折形狀。
5.如權利要求3所述的麥克風，其特征在于：所述通道為Z形形狀。
6.如權利要求3所述的麥克風，其特征在于：所述通道對準所述第一聲孔的一端設置成網狀結構和/或所述通道對準所述MEMS芯片的一端設置成網狀結構。
7.如權利要求3所述的麥克風，其特征在于：所述通道對準所述第一聲孔的一端覆蓋有防塵網和/或所述通道對準所述MEMS芯片的一端覆蓋有防塵網。
8.如權利要求1-7任一項所述的麥克風，其特征在于：所述基板為所述封裝腔體的底部，所述第二聲孔設置在所述封裝腔體的頂部。
9.如權利要求1-7任一項所述的麥克風，其特征在于：所述外殼包括上蓋和側壁，所述第二聲孔設置在所述上蓋或所述側壁上。
10.如權利要求1-7任一項所述的麥克風，其特征在于：所述阻尼片的材料為下列任一：硅、陶瓷、線路板、金屬片、注塑件。
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