[發明專利]保持墊片在審
| 申請號： | 201480081839.0 | 申請日： | 2014-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN107073681A | 公開（公告）日： | 2017-08-18 |
| 發明（設計）人： | 矢島利康;二宮大輔 | 申請（專利權）人： | 丸石產業株式會社 |
| 主分類號： | B24B37/30 | 分類號： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司72003 | 代理人： | 張福根,馮志云 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 保持 墊片 | ||
【權利要求書】：
1.一種保持墊片，其具有用以保持被研磨構件的保持層，其中，
所述保持層在其表面上的一部分具有模板固定部，用以貼附防止被研磨構件的橫向偏移用的模板，
所述模板固定部在其表面具有用以吸附固定模板的吸附層，
所述吸附層包含使選自下述的至少一種的聚硅氧交聯而成的組成物：
由僅于兩末端具有乙烯基的直鏈聚有機硅氧烷所成的聚硅氧；
由于兩末端及側鏈具有乙烯基的直鏈聚有機硅氧烷所成的聚硅氧；
由僅于末端具有乙烯基的支鏈聚有機硅氧烷所成的聚硅氧；及，
由于末端及側鏈具有乙烯基的支鏈聚有機硅氧烷所成的聚硅氧。
2.根據權利要求1所述的保持墊片，其中，吸附層被接著于保持層上而成。
3.根據權利要求1或2所述的保持墊片，其中，吸附層的厚度為20至50μm。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的保持墊片，其中，吸附層經由支撐層粘合于保持層；
所述支撐層由拉伸彈性率為2600至4200MPa的有機樹脂材料而成。
5.根據權利要求4所述的保持墊片，其中，構成支撐層的有機樹脂材料為聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)的任一種。
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