[發明專利]阻擋層疊層、用于制造阻擋層疊層的方法以及超高阻擋層與抗反射系統

有效

• 申請號: 201480078901.0
• 申請日: 2014-05-16
• 公開（公告）號: CN106415873B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: H-G·洛茨;N·莫里森;T·斯托利
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司31100
• 代理人: 侯穎媖

技術領域

本公開的實施例關于阻擋層疊層、用于制造阻擋層疊層的方法以及超高(ultra-high)阻擋層與抗反射系統。

背景技術

當有機發光器件(Organic light emitting devices,OLED)暴露至水蒸汽或氧氣時，會遭受輸出降低或過早失效。若干阻擋層系統已用于保護OLED器件免受此類水蒸汽或氧氣的影響。例如，由于玻璃無彈性，因此當使用玻璃來封裝OLED器件時，OLED器件的結構穩定性遭損壞。

需要一種克服上述方面中的至少一些方面的阻擋系統，例如，在基板(諸如，彈性聚合物基板)上的阻擋系統。特別是需要一種相比常規結構具有增強的光學性能的阻擋系統。

發明內容

鑒于上述內容，提供一種阻擋層疊層、一種用于制造阻擋層疊層的方法以及超高阻擋層和抗反射系統。通過權利要求書、說明書和所附附圖，本公開的進一步的方面、優點和特征可顯而易見。

根據本公開的一方面，提供一種阻擋層疊層。阻擋層疊層包括依序布置的第一層、第二層、第三層和第四層。第一層與第三層具有至少1.9的折射率，并且第二層與第四層具有小于1.7的折射率。所述層中的每一層都具有至少70nm的厚度。

根據本公開的另一方面，提供用于制造阻擋層疊層的方法。所述方法包括以下步驟：在基板上交替地沉積第一層材料與第二層材料以形成至少四層，其中第一層材料具有至少1.9的折射率，其中第二層材料具有小于1.7的折射率，并且其中所述層中的每一層都具有至少70nm的厚度。

根據本公開的更進一步的方面，提供超高阻擋層和抗反射系統。超高阻擋層和抗反射系統包括基板以及在所述基板上方的層疊層。層疊層包括依序布置的第一層、第二層、第三層和第四層。第一層與第三層具有至少1.9的折射率，并且第二層與第四層具有小于1.7的折射率。所述層中的每一層都具有至少70nm的厚度。

實施例也針對用于實行所公開的方法的設備，并且包括用于執行每一個所述方法步驟的設備部件。這些方法步驟可通過硬件組件的方式、由合適的軟件編程的計算機、通過這兩者的任何組合或以任何其他方法來執行。再者，根據本公開的實施例也是針對所述設備的操作方法。這包括用于執行設備的每一個功能的方法步驟。

附圖說明

因此，為了可詳細地理解本公開的上述特征的方式，可參考實施例具體描述上文簡要概述的本公開。附圖關于本公開的實施例，并且在下文中進行描述：

圖1A-C示出根據本文中所述的實施例的阻擋層疊層的剖面圖；

圖2示出根據本文中所述的進一步的實施例的阻擋層疊層的剖面圖；

圖3示出根據本文中所述的實施例的阻擋層疊層的反射率的曲線圖；

圖4示出根據本文中所述的實施例的用于制造阻擋層疊層的沉積設備的示意圖；以及

圖5示出根據本文中所述的實施例的用于制造阻擋層疊層的方法的流程圖。

具體實施方式

現在將詳細地參照本公開的各種實施例，在附圖中闡釋這些實施例的一個或多個示例。在以下對于附圖的描述中，相同的元件符號指示相同的元件。一般而言，僅描述相對于個別實施例的不同之處。每一個示例以解釋本公開的方式來提供，并且不旨在作為對本公開的限制。此外，闡釋或描述為一個實施例的部分的特征可用于其他實施例或可與其他實施例一同使用，以產生更進一步的實施例。本說明書旨在包括此類修改與變型。

層疊層可用于光學應用中(例如，對OLED的保護)，然而它們會減小特別是在可見光譜中的透過率，并且會產生不期望的顏色。本公開通過提供具有組合的阻擋和抗反射性質的阻擋層疊層來克服此缺點。根據本文中所述的實施例的阻擋層疊層可具有色中性(color neutrality)，所述色中性提供阻擋層疊層的改善的光學特性。

雖然到目前為止已提到OLED應用，但是本公開的阻擋層疊層也可用在不同的應用中。作為示例，本公開的阻擋層疊層可用在包裝領域中，例如，對需要高氧氣保護的食物(例如，新鮮的面食、切成薄片的肉、干燥的水果或點心)的包裝。阻擋層疊層可提供氣體阻擋與透明的性質以提供產品的可見性。