[發明專利]油擴散泵和用于該油擴散泵的油蒸氣產生器

有效

• 申請號: 201480077167.6
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN106104009B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 稅所慎一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社新柯隆
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

技術領域

本發明涉及作為真空泵的油擴散泵和組裝于該泵中的油蒸氣產生器，所述油擴散泵與構成蒸鍍裝置或濺鍍裝置等各種真空裝置的真空容器連接，適用于對該容器內抽真空的用途。

背景技術

在蒸鍍裝置或濺鍍裝置等各種真空裝置中，作為在對構成該裝置的真空容器的內部抽真空的排氣裝置中使用的真空泵，利用了油擴散泵。在以往的油擴散泵中，已知這樣的油擴散泵：利用具有加熱線的電熱加熱器，來作為收納在鍋爐內的工作油的加熱源(專利文獻1)。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2007-23778號公報

發明內容

發明要解決的課題

在利用加熱線作為工作油的加熱源的情況下，雖然存在可廉價地形成裝置的優點，但是也包含有可引起如下不良情況的因素：例如，由于加熱線的斷線而導致加熱功能消失；由于加熱線的絕緣不良而發生漏電；由于端子座的高溫而發生接觸不良；以及被加熱體生銹等。另外，在油擴散泵工作時，加熱線會產生接近赤熱水平的高溫，因此需要注意其安裝場所，根據考慮了來自加熱線的輻射熱的設置場所，還存在自由度在安裝位置處受限這樣的設置環境的問題。

而且，作為工作油加熱源的加熱線在能量效率方面也會發生熱傳導損失，因此，除了加熱效率低下而妨礙節能之外，還存在以下問題。

(1)加熱的上升速度較慢(起動時間長)，

(2)熱響應性差，

(3)難以選擇性地對被加熱體進行加熱從而對被加熱體的周邊也進行了加熱等。

根據本發明的一個方面，提供一種可消除在使用加熱線作為工作油加熱源時的問題的油蒸氣產生器、和具備該油蒸氣產生器且能夠有助于實現工作時的節能的油擴散泵。

用于解決問題的手段

本發明的油擴散泵是一種真空泵，其中，在配置于殼體內的噴射器內配置有油蒸氣產生器，通過使該油蒸氣產生器工作來加熱工作油從而產生油蒸氣，將噴射器內的油蒸氣從噴射器噴射出去而對吸入氣體進行高真空排氣動作。

油蒸氣產生器具備：被加熱體；感應線圈，其電絕緣地配置在被加熱體的附近；以及供電單元，其對感應線圈施加交流電。并且，特征在于，構成為，通過使供電單元工作而對感應線圈施加交流電，由此使被加熱體自身加熱，從而使工作油氣化。

本發明的油蒸氣產生器被用于對具有殼體和噴射器的油擴散泵內的工作油進行加熱而產生油蒸氣的用途。本發明的油蒸氣產生器具備：被加熱體，其以一部分或全部浸漬于儲存在油擴散泵的殼體內的工作油中的方式配置在殼體內的噴射器內；感應線圈，其以一部分或全部浸漬于儲存在殼體內的工作油中的方式電絕緣地配置在被加熱體的附近；以及供電單元，其對該感應線圈施加交流電。并且，特征在于，通過使供電單元工作來使被加熱體加熱，從而使工作油氣化。

在上述的兩個發明中，構成油蒸氣產生器的被加熱體的形狀并不特別限定，可以考慮例如板狀、筒狀或板狀與筒狀的組合等。例如在以沿立起設置方向延伸的筒狀構成被加熱體的情況下(圖3～圖5)，只要將感應線圈隔著絕緣材料纏繞在被加熱體的周圍即可(圖3～圖5)。在以圓板狀等的板材構成被加熱體的情況下，只要將感應線圈隔著絕緣材料配置在被加熱體的周圍(例如背面等)即可，在進行組合的情況下，除了分別使用單獨的感應線圈且使用多個供電單元以外，也可以使用1個系統的感應線圈和供電單元來供電。無論哪種情況，在本發明中，被加熱體和感應線圈都是以一部分或全部浸漬于儲存在殼體內的工作油中的配置被組裝于殼體。

在本發明中，能夠在油擴散泵的殼體內設置可使油蒸氣產生器工作來進行加熱的工作油的流路。

在本發明中，能夠構成為使配置于殼體內的油蒸氣產生器與殼體底面之間熱絕緣。

在本發明中，能夠以進行了絕緣包覆的耐熱電線構成油蒸氣產生器的感應線圈。

發明效果

組裝在本發明的油擴散泵中的油蒸氣產生器構成為：使用將感應線圈隔著絕緣材料配置在被加熱體的附近而成的加熱源(作為一例，將感應線圈隔著絕緣材料繞筒狀的被加熱體纏繞而成的加熱源)作為工作油加熱源，通過對感應線圈施加交流電來使被加熱體加熱，通過該熱使工作油氣化。另外，構成為，被加熱體和感應線圈以浸漬于儲存在油擴散泵的殼體內的工作油中的配置被組裝于殼體底部。