[發明專利]油擴散泵和用于該油擴散泵的油蒸氣產生器

有效

• 申請號: 201480077167.6
• 申請日: 2014-06-24
• 公開（公告）號: CN106104009B
• 公開（公告）日: 2017-09-08
• 發明（設計）人: 稅所慎一郎
• 申請（專利權）人: 株式會社新柯隆
• 主分類號: F04F9/00
• 分類號: F04F9/00
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,黃綸偉

1.一種油擴散泵，在配置于該油擴散泵的殼體內的噴射器內配置有油蒸氣產生器，通過使該油蒸氣產生器工作來加熱工作油從而產生油蒸氣，將噴射器內的油蒸氣從噴射器噴射出去而對吸入氣體進行高真空排氣動作，其特征在于，

所述油蒸氣產生器具備：

被加熱體；

感應線圈，其電絕緣地配置在該被加熱體的附近；以及

供電單元，其對該感應線圈施加交流電，

所述被加熱體和感應線圈以一部分或全部浸漬于儲存在殼體內的工作油中的配置被組裝于殼體，

所述油擴散泵構成為，通過使所述供電單元工作來使所述被加熱體加熱，從而使所述工作油氣化。

2.根據權利要求1所述的油擴散泵，其中，

所述油蒸氣產生器的被加熱體是在立起設置方向上延伸的筒狀，在該筒狀的被加熱體的周圍隔著絕緣材料纏繞有感應線圈。

3.根據權利要求1所述的油擴散泵，其中，

所述油蒸氣產生器的被加熱體是板狀，在該板狀的被加熱體的周圍隔著絕緣材料配置有感應線圈。

4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的油擴散泵，其中，

在殼體內具有工作油流路。

5.根據權利要求1～3中的任意一項所述的油擴散泵，其中，

在殼體底部的大氣側不具有加熱源。

6.根據權利要求1～3中的任意一項所述的油擴散泵，其中，

所述油擴散泵構成為使配置在殼體內的油蒸氣產生器與殼體底面之間熱絕緣。

7.根據權利要求1～3中的任意一項所述的油擴散泵，其中，

所述感應線圈由進行了絕緣包覆的耐熱電線構成。

8.一種真空裝置，其具備用于對真空容器內抽真空的排氣裝置，其特征在于，

使用權利要求1～7中的任意一項所述的油擴散泵作為所述排氣裝置。

9.一種油蒸氣產生器，其對具有殼體和噴射器的油擴散泵內的工作油進行加熱而產生油蒸氣，其特征在于，

該油蒸氣產生器被組裝于所述油擴散泵內的殼體來使用，

所述油蒸氣產生器具備：

被加熱體，其以一部分或全部浸漬于儲存在所述殼體內的工作油中的方式配置于所述噴射器內；

感應線圈，其以一部分或全部浸漬于儲存在所述殼體內的工作油中的方式電絕緣地配置在所述被加熱體的附近；以及

供電單元，其對該感應線圈施加交流電，

通過使所述供電單元工作來使所述被加熱體加熱，從而使所述工作油氣化。