[發明專利]生產蓋基板的方法以及封裝的輻射發射器件

有效

• 申請號: 201480073332.0
• 申請日: 2014-12-02
• 公開（公告）號: CN107078456B
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 沃爾夫岡·雷內特;漢斯·約阿希姆·昆澤
• 申請（專利權）人: 弗勞恩霍夫應用研究促進協會
• 主分類號: H01S5/022
• 分類號: H01S5/022;H01L33/58;C03B23/20;C03B23/02;H01L33/56;H01L33/00
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 楊靜

本發明涉及一種生產蓋基板(1)的方法、一種在晶片級生產封裝的輻射發射器件的方法以及一種輻射發射器件。通過生產蓋基板(1)，提供包括大量輻射發射器件(17)的晶片形式的器件基板(16)，將基板彼此疊加地布置，使得基板沿中間接合框(15)接合，并且切割封裝的輻射發射器件，提供有利地布置在擺脫有機物的腔體內的改進的封裝的輻射發射器件，并能夠仍然在晶片級，在切割之前，以簡化方式檢驗改進的封裝的輻射發射器件的功能方面。

技術領域

本發明涉及生產蓋基板的方法、在晶片級生產封裝的輻射發射器件的方法以及一種通過這種方法所生產的封裝的輻射發射器件。例如，將提供一種用于激光二極管的封蓋概念以及一種利用集成垂直光學窗口的晶片級生產方法。

背景技術

藍色激光二極管和綠色激光二極管被用于日益廣泛的應用領域。已經成立并且現在普遍的是，在讀取高密度光學存儲介質(藍光)時將藍色激光二極管用作決定性組件。例如，現在已經建立了諸如移動圖像和視頻投影中的RGB源的高性能藍色激光二極管和綠色激光二極管的各種各樣的進一步應用。

綠色激光二極管和藍色激光二極管二者應當總是以密封方式打包在封裝內。可以通過使用包括集成光學窗口和銅熱沉的特定TO頭(TO 38)的封蓋技術來封蓋這些激光二極管。

除了提到的消費應用之外，在工廠照明系統領域以及具體地UV固化燈領域中，也需要具有特別高的散熱水平并具有有機自由封裝的密封的UV發光二極管(沒有激光二極管)，以保證所需的長使用壽命。

因此，本發明的目的在于提供一種生產用于封蓋輻射發射器件的蓋基板的改進方法，并相應地提供表現出改進特性的封裝的輻射發射器件。

以這種方式，目標在于實現，封裝的輻射發射器件表現出長的使用壽命，同時保持一貫良好的輻射和性能質量。具體地，將減少或防止在非常強烈的高能量激光輻射的作用下暴露于水蒸氣和揮發性有機成分時對激光刻面的毀壞。另外，將降低生產成本，并改善封裝的散熱。

發明內容

通過獨立權利要求的主題來實現該目的。本申請的有利實現形成了從屬權利要求的主題。

本發明基于以下發現：生產改進的封裝輻射發射器件的特別有利的方式是在晶片級。如果使用用于通過玻璃流動工藝將蓋基板成形的模具基板，則窗口組件可以集成到蓋基板中，通過蓋基板測量可以隨后以密封方式封蓋敏感的輻射源。

可以通過在生產蓋基板的方法中從模具基板形成第一島狀區域和分別關聯的相鄰第二島狀區域來實現相應地改進的制造工藝，其中，在第一島狀區域和分別關聯的相鄰第二島狀區域之間設置凹部，并且將窗口組件布置在分別位于第一島狀區域和關聯的相鄰第二島狀區域之間的凹部中。

由此，提供一種包括以下步驟的生產蓋基板的第一方法：提供包括結構化表面區域的模具基板，將蓋體基板布置在模具基板的結構化表面區域上，蓋體基板包括玻璃材料，并將蓋體基板連接到模具基板，以至少部分重疊的這種方式使模具基板的結構化表面與蓋體基板的表面接觸，從模具基板形成第一島狀區域和分別關聯的相鄰第二島狀區域，其中，在第一島狀區域和分別關聯的相鄰第二島狀區域之間設置凹部，在每種情況下，將窗口組件布置在位于第一島狀區域和關聯的相鄰第二島狀區域之間的凹部內，將載體基板布置在從模具基板形成的第一島狀區域和第二島狀區域上，使得第一島狀區域和第二島狀區域位于載體基板與蓋體基板之間，將接合的基板回火，使得蓋體基板的玻璃材料流入位于島狀區域之間的其余凹部中，以及從模具基板和載體基板去除蓋體基板，以獲得結構化的蓋基板。