[發(fā)明專利]生產(chǎn)蓋基板的方法以及封裝的輻射發(fā)射器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480073332.0
• 申請(qǐng)日: 2014-12-02
• 公開（公告）號(hào): CN107078456B
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沃爾夫?qū)だ變?nèi)特;漢斯·約阿希姆·昆澤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)
• 主分類號(hào): H01S5/022
• 分類號(hào): H01S5/022;H01L33/58;C03B23/20;C03B23/02;H01L33/56;H01L33/00
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 楊靜

1.一種生產(chǎn)蓋基板(1)的方法，包括：

-提供包括結(jié)構(gòu)化表面區(qū)域(3)的模具基板(2)；

-將蓋體基板(4)布置在模具基板(2)的結(jié)構(gòu)化表面區(qū)域(3)上，蓋體基板(4)包括玻璃材料，并將蓋體基板(4)連接到模具基板(2)，

以至少部分重疊的方式使模具基板(2)的結(jié)構(gòu)化表面(3)與蓋體基板(4)的表面接觸；

-從模具基板(2)形成第一島狀區(qū)域(5)和分別關(guān)聯(lián)的相鄰第二島狀區(qū)域(6)，其中，在第一島狀區(qū)域(5)和分別關(guān)聯(lián)的相鄰第二島狀區(qū)域(6)之間設(shè)置有凹部(7)；

-將窗口組件(8、8’)布置在位于第一島狀區(qū)域(5)和關(guān)聯(lián)的相鄰第二島狀區(qū)域(6)之間的凹部(7)內(nèi)；

-將載體基板(9)布置在從模具基板(2)形成的第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)上，使得第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)位于載體基板(9)與蓋體基板(4)之間；

-將接合的基板回火，使得蓋體基板(4)的玻璃材料流入位于島狀區(qū)域之間的其余凹部(7)中；以及

-從模具基板(2)和載體基板(9)去除蓋體基板(4)，以獲得結(jié)構(gòu)化的蓋基板(1)，所述蓋基板(1)的側(cè)面上具有窗口組件(8、8’)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述提供模具基板(2)還包括：

-提供在表面(3)上包括鈍化層(10)的半導(dǎo)體晶片(2)；

-對(duì)鈍化層(10)進(jìn)行光刻，使得鈍化層(10)保持在提供第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)的表面(3)上；

-針對(duì)光刻區(qū)域，蝕刻半導(dǎo)體晶片(2)的表面(3)，使得半導(dǎo)體晶片(2)的厚度垂直于該表面的光刻區(qū)域而減小，以將表面區(qū)域(3)結(jié)構(gòu)化并且因此規(guī)定第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)的位置；以及

-完全地去除鈍化層(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，蓋體基板(4)的所述布置和連接包括以下步驟：

-逐個(gè)區(qū)域地將模具基板(2)的結(jié)構(gòu)化表面區(qū)域(3)與蓋體基板(4)的表面區(qū)域進(jìn)行陽極接合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，在每種情況下窗口組件(8)的所述布置包括以下步驟：

-提供若干條狀的窗口組件(8)；以及

-將條狀的窗口組件(8)插入位于第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)之間的凹部(7)中，使得被提供作為光學(xué)輸出窗口的表面的窗口組件(8)的表面與從模具基板(2)形成的島狀區(qū)域(5、6)的表面相對(duì)布置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，各個(gè)窗口組件(8)的所述布置包括以下步驟：

-在將條狀的窗口組件(8)插入凹部之前，將半導(dǎo)體條帶(11)插入凹部(7)中，使得半導(dǎo)體條帶(11)布置在被提供作為光學(xué)輸出窗口的表面的窗口組件(8)的表面與從模具基板(2)形成的島狀區(qū)域(5、6)的表面之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，各個(gè)窗口組件(8)的所述布置包括以下步驟：

-提供涂覆有半導(dǎo)體材料(11)的一個(gè)或多個(gè)條狀的窗口元件。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，窗口組件(8)的所述布置包括以下步驟：

-在每種情況下，從透鏡陣列對(duì)條狀的窗口組件(8)進(jìn)行定尺剪切。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中，第一島狀區(qū)域(5)和第二島狀區(qū)域(6)包括與載體基板(9)相鄰的區(qū)域中的邊緣倒角(50)，回火的步驟包括：使窗口組件(8、8’)的玻璃材料流入位于倒角(50)與載體基板(9)之間的區(qū)域中，以從玻璃材料形成圓周突起(52)。