[發(fā)明專(zhuān)利]玻璃膜層疊體的制造方法、玻璃膜層疊體、電子設(shè)備的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480056927.5
• 申請(qǐng)日: 2014-10-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105764867B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 稻山尚利;深田睦
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C03C27/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C27/00;B32B17/00;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/10
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 張玉玲

本發(fā)明提供謀求玻璃膜的處理性的提高、且實(shí)現(xiàn)玻璃膜的成品率及合格品率的提高的玻璃膜層疊體及玻璃膜層疊體的制造方法。其是在支撐玻璃(12)上層疊玻璃膜(10)而制作的玻璃膜層疊體(1)的制造方法，其具有以下工序：對(duì)玻璃膜(10)和支撐玻璃(12)的至少周邊部(10d·12d)施加超聲波US的超聲波施加工序(STEP?1?1)；將經(jīng)過(guò)超聲波施加工序(STEP?1?1)的玻璃膜(10)和支撐玻璃(12)進(jìn)行清洗的清洗工序(STEP?1?2)；在經(jīng)過(guò)清洗工序(STEP?1?2)的支撐玻璃(12)上層疊玻璃膜(10)而制作玻璃膜層疊體(1)的層疊工序(STEP?1?3)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及玻璃膜層疊體的制造方法、玻璃膜層疊體、電子設(shè)備的制造方法的技術(shù)。

背景技術(shù)

從省空間化的觀點(diǎn)出發(fā)，代替以往普及的CRT型顯示器，近年來(lái)液晶顯示器、等離子體顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示器普及。

進(jìn)而，在這些平板顯示器中，存在對(duì)進(jìn)一步薄型化的需求。

近年來(lái)，對(duì)于平板顯示器等設(shè)備中使用的基板或蓋玻片，對(duì)實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步薄化和高的撓性的需求提高。

為了對(duì)玻璃基板賦予撓性，將玻璃基板薄化是有效的，下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，提出了厚度為200μm以下的玻璃膜。

對(duì)平板顯示器或太陽(yáng)能電池等電子設(shè)備中使用的玻璃基板進(jìn)行加工處理或清洗處理等各種制造關(guān)聯(lián)處理。

然而，若將這些電子設(shè)備中使用的玻璃基板薄化，則由于玻璃為脆性材料，所以存在這樣的問(wèn)題：因稍微的應(yīng)力變化而導(dǎo)致破損，在進(jìn)行上述的各種電子設(shè)備的制造關(guān)聯(lián)處理時(shí)處理非常困難。

此外，由于厚度為200μm以下的玻璃膜富有撓性，所以還存在在進(jìn)行處理時(shí)難以進(jìn)行定位、在圖案化時(shí)產(chǎn)生偏移等這樣的問(wèn)題。

此外，為了提高經(jīng)薄化的玻璃膜的處理性，在下述專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，提出了在支撐玻璃上層疊有玻璃膜的玻璃膜層疊體。

根據(jù)這樣的玻璃膜層疊體，即使使用為單質(zhì)時(shí)沒(méi)有強(qiáng)度或剛性的玻璃膜，也由于支撐玻璃的剛性高，所以在處理時(shí)作為玻璃膜層疊體整體定位變得容易。

此外，處理結(jié)束后可以將玻璃膜從支撐玻璃剝離。

若將玻璃膜層疊體的厚度設(shè)定為與以往的玻璃基板的厚度相同，則也能夠共用以往的玻璃基板用的電子設(shè)備制造線(xiàn)來(lái)制造電子設(shè)備。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2011-183792號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

使用專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所示的玻璃膜層疊體來(lái)制造液晶面板等電子設(shè)備時(shí)，通常存在對(duì)玻璃膜層疊體涂布抗蝕液的工序(抗蝕工序)。進(jìn)而，在抗蝕工序中涂布到玻璃膜層疊體上的抗蝕液通過(guò)感光、加熱、干燥等方法而被固化。

此外，在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中所示的以往的玻璃膜層疊體1中，如圖16中所示的那樣，有時(shí)在玻璃膜10與成為支撐體11的支撐玻璃12的界面13中形成氣泡14。進(jìn)而，在該氣泡14中，有在玻璃膜10的外周緣以與大氣連通的形態(tài)形成的氣泡。另外，以下，規(guī)定將這樣的氣泡14稱(chēng)為開(kāi)口泡14a。

進(jìn)而，就在界面13中存在開(kāi)口泡14a的玻璃膜層疊體1而言，存在在抗蝕工序中涂布的抗蝕液進(jìn)入開(kāi)口泡中這樣的問(wèn)題。

此外，進(jìn)入開(kāi)口泡14a中的抗蝕液之后被固化，但存在通過(guò)該固化的抗蝕液將存在開(kāi)口泡14a的部位的玻璃膜10和支撐玻璃12粘著這樣的問(wèn)題。