[發明專利]玻璃膜層疊體的制造方法、玻璃膜層疊體、電子設備的制造方法

有效

• 申請號: 201480056927.5
• 申請日: 2014-10-07
• 公開（公告）號: CN105764867B
• 公開（公告）日: 2019-01-11
• 發明（設計）人: 稻山尚利;深田睦
• 申請（專利權）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C27/00
• 分類號: C03C27/00;B32B17/00;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/04;H05B33/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張玉玲

1.一種玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，其是在支撐體上層疊玻璃膜而制作的玻璃膜層疊體的制造方法，其具有以下工序：

對所述玻璃膜和所述支撐體的至少周邊部施加超聲波的超聲波施加工序；

將經過所述超聲波施加工序的所述玻璃膜和所述支撐體進行清洗的清洗工序；以及

在經過所述清洗工序的所述支撐體上層疊所述玻璃膜來制作玻璃膜層疊體的層疊工序，

所述玻璃膜層疊體的周邊部為從所述玻璃膜的端邊起10mm以上的寬度，

所述玻璃膜層疊體的除周邊部以外的氣泡的個數為0.1個/m²以上且10000個/m²以下。

2.根據權利要求1所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，

所述支撐體為支撐玻璃。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，

在所述超聲波施加工序中，使用喇叭型超聲波發生器來施加超聲波。

4.根據權利要求3所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，

在所述超聲波施加工序中，僅對所述玻璃膜和所述支撐體的所述周邊部施加超聲波。

5.根據權利要求2或4所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，其具有以下所述的超聲波清洗工序：將所述玻璃膜和所述支撐體在超聲波清洗槽的內部浸入液體中，利用所述超聲波清洗槽，對所述玻璃膜和所述支撐體的整體進行超聲波清洗。

6.根據權利要求2或4所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，其進一步具有以下所述的開口泡檢查工序：檢查存在于所述玻璃膜層疊體的所述玻璃膜與所述支撐體的界面中與所述玻璃膜的端邊相接的氣泡即開口泡的有無。

7.根據權利要求6所述的玻璃膜層疊體的制造方法，其特征在于，

在所述開口泡檢查工序中，進一步檢查與所述玻璃膜的周邊部對應的所述玻璃膜層疊體的周邊部中的除所述開口泡以外的氣泡的有無。

8.一種玻璃膜層疊體，其特征在于，其是將玻璃膜與支撐玻璃直接層疊而制作的玻璃膜層疊體，

所述玻璃膜以從所述玻璃膜的全部端邊起10mm以上的寬度沒有間隙地與所述支撐玻璃相接，

所述玻璃膜層疊體的除所述玻璃膜與所述支撐玻璃沒有間隙地相接的部位以外的部位中的氣泡的個數為0.1個/m²以上且10000個/m²以下。

9.根據權利要求8所述的玻璃膜層疊體，其特征在于，

在所述支撐玻璃設置有薄膜層。

10.一種電子設備的制造方法，其特征在于，其具有以下工序：

在電子設備制造關聯處理前在支撐體上層疊玻璃膜來制作玻璃膜層疊體的層疊工序；

通過對所述玻璃膜層疊體中的所述玻璃膜進行電子設備制造關聯處理而在所述玻璃膜層疊體的所述玻璃膜上形成元件，用密封基板將所述元件密封來制作帶支撐體的電子設備的工序；以及

將所述帶支撐體的電子設備中的電子設備制造關聯處理后的所述玻璃膜從所述支撐體剝離來制造電子設備的工序，

其中，所述層疊工序為通過權利要求1～7中任一項所述的玻璃膜層疊體的制造方法來制作玻璃膜層疊體的工序。