[發明專利]成膜掩膜及其制造方法

無效

• 申請號: 201480055662.7
• 申請日: 2014-10-07
• 公開（公告）號: CN105612271A
• 公開（公告）日: 2016-05-25
• 發明（設計）人: 工藤修二;齋藤雄二;水村通伸
• 申請（專利權）人: 株式會社V技術
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;青煒

1.一種成膜掩膜，其構成為具備掩膜板和磁性金屬構件的金屬掩 膜，其中，

所述掩膜板具備：樹脂制的薄片，其與被成膜在基板上的薄膜圖案 對應地形成多個開口圖案；以及磁性金屬薄膜，其在上述薄片的一面被 設置在形成了上述多個開口圖案的有效區域內，并設置了內含上述多個 開口圖案中的至少一個開口圖案的大小的貫通孔，

所述磁性金屬構件的金屬掩膜在上述掩膜板的上述磁性金屬薄膜 側與上述掩膜板分離而獨立地被設置，形成了內含上述磁性金屬薄膜的 大小的開口部。

2.根據權利要求1所述的成膜掩膜，其特征在于，

還具備將上述掩膜板以及上述金屬掩膜的各周邊部個別固定在一 端面來支承的框狀的框架。

3.根據權利要求1或者2所述的成膜掩膜，其特征在于，

在上述掩膜板的周邊區域，沿其周邊部形成金屬薄膜的圖案。

4.根據權利要求1或者2所述的成膜掩膜，其特征在于，

上述基板具有能夠形成多個顯示面板的多個顯示部的表面積，

對于上述掩膜板，與上述多個顯示部個別對應地設置由多個上述開 口圖案構成的開口圖案組，并且，與上述多個顯示部個別對應地設置多 個上述磁性金屬薄膜，

上述金屬掩膜形成分別內含上述多個磁性金屬薄膜的大小的多個 上述開口部，或者內含上述多個磁性金屬薄膜的大小的一個上述開口 部。

5.根據權利要求3所述的成膜掩膜，其特征在于，

上述基板具有能夠形成多個顯示面板的多個顯示部的表面積，

對于上述掩膜板，與上述多個顯示部個別對應地設置由多個上述開 口圖案構成的開口圖案組，并且，與上述多個顯示部個別對應地設置多 個上述磁性金屬薄膜，

上述金屬掩膜形成分別內含上述多個磁性金屬薄膜的大小的多個 上述開口部，或者內含上述多個磁性金屬薄膜的大小的一個上述開口 部。

6.根據權利要求1或者2所述的成膜掩膜，其特征在于，

上述基板具有能夠形成多個顯示面板的多個顯示部的表面積，

對于上述掩膜板，與上述多個顯示部個別對應地設置由多個上述開 口圖案構成的開口圖案組，并且，與上述多個顯示部的整個區域對應地 設置一個上述磁性金屬薄膜，

上述金屬掩膜形成內含上述一個磁性金屬薄膜的大小的一個上述 開口部。

7.根據權利要求3所述的成膜掩膜，其特征在于，

上述基板具有能夠形成多個顯示面板的多個顯示部的表面積，

對于上述掩膜板，與上述多個顯示部個別對應地設置由多個上述開 口圖案構成的開口圖案組，并且，與上述多個顯示部的整個區域對應地 設置一個上述磁性金屬薄膜，

上述金屬掩膜形成內含上述一個磁性金屬薄膜的大小的一個上述 開口部。

8.一種成膜掩膜的制造方法，是用于在基板上經由多個開口圖案 成膜并形成多個薄膜圖案的成膜掩膜的制造方法，該成膜掩膜的制造方 法的特征在于，進行如下步驟：

在樹脂制的薄片的一面，與形成上述多個開口圖案的有效區域對應 地形成磁性金屬薄膜的第一步驟，在磁性金屬薄膜設置了能夠內含上述 多個開口圖案中的至少一個開口圖案的大小的貫通孔；

形成在磁性金屬構件的金屬板形成了內含上述磁性金屬薄膜的大 小的開口部的金屬掩膜的第二步驟；

將上述金屬掩膜的周邊部固定至框狀的框架的一端面之后，在上述 薄片的周邊部，將上述一面側固定至上述框架的上述一端面的第三步 驟；以及

向上述薄片的上述有效區域內照射激光，形成上述多個開口圖案來 作為掩膜板的第四步驟。

9.根據權利要求8所述的成膜掩膜的制造方法，其特征在于，

在上述薄片的周邊區域，沿其周邊部形成金屬薄膜圖案。

10.根據權利要求9所述的成膜掩膜的制造方法，其特征在于，

在上述第三步驟中，將上述薄片的上述金屬薄膜圖案以及上述金屬 掩膜的周邊部點焊至上述框架。