[發明專利]裝配有樞紐臂的化學機械拋光機

有效

• 申請號: 201480052565.2
• 申請日: 2014-10-08
• 公開（公告）號: CN105580115B
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: S·M·蘇尼加;陳志宏;J·古魯薩米
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: H01L21/304
• 分類號: H01L21/304
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 黃嵩泉

1.一種化學機械拋光系統，包括：

臺板；

裝載罩；

樞紐；

第一拋光臂，所述第一拋光臂從所述樞紐懸伸，以樞軸方式附連至所述樞紐上的第一支點并且繞所述臺板與所述裝載罩之間的所述樞紐的中心線是可旋轉的；以及

第二拋光臂，所述第二拋光臂從所述樞紐懸伸，以樞軸方式附連至所述樞紐上的第二支點并且繞所述臺板與所述裝載罩之間的所述樞紐的所述中心線是可旋轉的，其中所述第二拋光臂和所述第一拋光臂獨立于所述樞紐的旋轉而旋轉。

2.如權利要求1所述的系統，進一步包括：

拋光頭，所述拋光頭附連至所述第一拋光臂，其中，所述拋光頭經配置以在處理期間固持基板，并且將所述基板放置為抵靠所述臺板。

3.一種化學機械拋光系統，包括：

臺板；

裝載罩；

樞紐，所述樞紐繞第一軸是可旋轉的；

第一拋光臂，所述第一拋光臂以樞軸方式附連至所述樞紐上的第一支點，并且在所述臺板與所述裝載罩之間是可移動的；以及

第二拋光臂，所述第二拋光臂以樞軸方式附連至所述樞紐上的第二支點，并且在所述臺板與所述裝載罩之間是可移動的。

4.如權利要求3所述的系統，進一步包括：

第一電機，所述第一電機設置在所述樞紐中，用于旋轉所述第一拋光臂；以及

第二電機，所述第二電機設置在所述樞紐中，用于旋轉所述第二拋光臂。

5.如權利要求3所述的系統，進一步包括：

驅動齒輪組件，所述驅動齒輪組件設置在所述樞紐中；以及

電機，所述電機嚙合所述驅動齒輪組件，并且可操作地獨立于所述第二拋光臂來旋轉所述第一拋光臂。

6.如權利要求3所述的系統，進一步包括：

拋光頭，所述拋光頭附連至所述第一拋光臂，其中所述拋光頭經配置以在處理期間固持基板，并且將所述基板放置為抵靠所述臺板。

7.如權利要求6所述的系統，進一步包括：

第二裝載罩；以及

第二臺板。

8.如權利要求7所述的系統，其中所述第一拋光臂和所述第二拋光臂在所述第二裝載罩與所述第二臺板之間是可旋轉的。

9.如權利要求8所述的系統，其中所述第二拋光臂經配置以在不移動所述第一拋光臂的所述拋光頭的情況下，在所述裝載罩與所述臺板之間移動第二拋光頭。

10.如權利要求9所述的系統，其中所述第一拋光臂的所述第一支點的中心線與所述樞紐的所述中心線不一致。

11.一種用于由基板搬運器移動基板的方法，所述方法包括以下步驟：

將基板從裝載罩裝載到第一拋光頭中，所述第一拋光頭附連至第一拋光臂的第一端，其中所述第一拋光臂的第二端以樞軸方式附連至可轉位樞紐上的第一支點；以及

通過使所述樞紐轉位或使所述第一拋光臂繞所述第一支點旋轉，來將所述基板移動至處理站。

12.如權利要求11所述的方法，進一步包括以下步驟：

將第二基板從所述裝載罩裝載到第二拋光頭中，所述第二拋光頭附接至第二拋光臂的第一端，其中所述第二拋光臂的第二端以樞軸方式附接至所述可轉位樞紐上的第二支點；以及

通過以下操作來將所述第二基板移動至所述處理站：如果所述樞紐先前被轉位，則使所述第二拋光臂繞所述第二支點旋轉；或者如果所述第一拋光臂先前被旋轉，則使所述樞紐轉位。

13.如權利要求12所述的方法，其中通過使所述第二拋光臂樞轉來移動所述第二基板不移動所述第一拋光臂中的所述基板。

14.如權利要求12所述的方法，其中所述第一拋光頭和所述第二拋光頭經配置以接取至少一個裝載罩以及至少一個臺板。