[發明專利]電子槍裝置以及真空蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201480051603.2
• 申請日: 2014-12-05
• 公開（公告）號: CN105555994B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 后田以誠;失島太郎;增井透
• 申請（專利權）人: 株式會社愛發科
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;G21K5/04;H01J37/06
• 代理公司: 北京華夏正合知識產權代理事務所(普通合伙) 11017
• 代理人: 韓登營;栗濤

1.一種電子槍裝置，其特征在于，具有第1絲極、第2絲極、電源單元、切換單元與控制部，其中，

所述第1絲極能夠產生第1電子束；

所述第2絲極能夠產生第2電子束；

所述電源單元具有：加熱電流供給部，其供給用于使所述第1絲極和所述第2絲極中的任意一個產生電子束的加熱電流；偏壓供給部，其向所述加熱電流施加偏壓；

所述切換單元構成為，能夠選擇性地切換第1狀態和第2狀態，所述第1狀態為向所述第1絲極供給驅動電流的狀態，所述第2狀態為向所述第2絲極供給所述驅動電流的狀態，其中，所述驅動電流是對所述加熱電流施加所述偏壓后形成的電流；

所述控制部控制所述第1狀態和所述第2狀態的切換，

所述控制部對所述加熱電流是否正被所述偏壓供給部施加所述偏壓進行判定，當判定結果為沒有施加所述偏壓時，所述控制部切換所述第1狀態和所述第2狀態。

2.根據權利要求1所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述加熱電流供給部具有：

加熱電流用電源；

第1加熱電流電路，其與所述第1絲極連接，

所述切換單元具有：

第2加熱電流電路，其與所述第2絲極連接；

加熱電流切換部，其在所述第1狀態下連接所述加熱電流用電源和第1加熱電流電路，在所述第2狀態下連接所述加熱電流用電源和第2加熱電流電路。

3.根據權利要求2所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述切換單元還具有偏壓切換部，所述偏壓切換部在所述第1狀態下連接所述偏壓供給部和所述第1加熱電流電路，在所述第2狀態下連接所述偏壓供給部和所述第2加熱電流電路。

4.根據權利要求2所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述第1加熱電流電路包括第1變壓部，所述第1變壓部能夠改變所述加熱電流的電壓值，

所述第2加熱電流電路包括第2變壓部，所述第2變壓部能夠改變所述加熱電流的電壓值。

5.根據權利要求3所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述第1加熱電流電路包括第1變壓部，所述第1變壓部能夠改變所述加熱電流的電壓值，

所述第2加熱電流電路包括第2變壓部，所述第2變壓部能夠改變所述加熱電流的電壓值。

6.根據權利要求2所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述控制部對所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路中的任意一個是否正被供給所述驅動電流進行判定，

當判定結果為所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路這兩者均沒有被供給所述驅動電流時，所述控制部使所述加熱電流用電源停止所述加熱電流的供給。

7.根據權利要求3所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述控制部對所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路中的任意一個是否正被供給所述驅動電流進行判定，

當判定結果為所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路這兩者均沒有被供給所述驅動電流時，所述控制部使所述加熱電流用電源停止所述加熱電流的供給。

8.根據權利要求4所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述控制部對所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路中的任意一個是否正被供給所述驅動電流進行判定，

當判定結果為所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路這兩者均沒有被供給所述驅動電流時，所述控制部使所述加熱電流用電源停止所述加熱電流的供給。

9.根據權利要求5所述的電子槍裝置，其特征在于，

所述控制部對所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路中的任意一個是否正被供給所述驅動電流進行判定，

當判定結果為所述第1加熱電流電路和所述第2加熱電流電路這兩者均沒有被供給所述驅動電流時，所述控制部使所述加熱電流用電源停止所述加熱電流的供給。