[發(fā)明專利]電子槍裝置以及真空蒸鍍裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480051603.2
• 申請(qǐng)日: 2014-12-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105555994B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 后田以誠(chéng);失島太郎;增井透
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社愛(ài)發(fā)科
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30;G21K5/04;H01J37/06
• 代理公司: 北京華夏正合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11017
• 代理人: 韓登營(yíng);栗濤

本發(fā)明提供一種能夠產(chǎn)生多個(gè)電子束且能夠簡(jiǎn)化設(shè)備的電子槍裝置以及真空蒸鍍裝置。電子槍裝置具有第1絲極、第2絲極、電源單元、切換單元以及控制部。第1和第2絲極能夠產(chǎn)生第1和第2電子束。電源單元具有：加熱電流供給部，其供給用于使第1絲極或者第2絲極產(chǎn)生電子束的加熱電流；偏壓供給部，其將偏壓施加給加熱電流。切換單元構(gòu)成為，能夠選擇性地切換第1狀態(tài)和第2狀態(tài)，其中，第1狀態(tài)為向第1絲極供給驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)；第2狀態(tài)為向第2絲極供給驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)。控制部控制第1狀態(tài)和第2狀態(tài)的切換，其中，驅(qū)動(dòng)電流是對(duì)加熱電流施加偏壓后形成的電流。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于真空蒸鍍法(真空蒸發(fā)鍍膜法)等的電子槍裝置以及真空蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

電子槍裝置是通過(guò)加熱絲極來(lái)產(chǎn)生電子束的裝置。電子槍裝置例如用于真空蒸鍍法中的加熱蒸發(fā)源，其構(gòu)成為，通過(guò)對(duì)配置在蒸鍍裝置內(nèi)的蒸發(fā)材料照射電子束并對(duì)其進(jìn)行加熱，能夠使該蒸發(fā)材料蒸發(fā)(例如參照專利文獻(xiàn)1～3)。這種電子槍裝置典型的是，具有用于加熱絲極的加熱電流用電源、用于控制電子束的軌道的線圈以及該線圈用的電源等。另外，如專利文獻(xiàn)4所示，例如采用2個(gè)電子槍裝置來(lái)進(jìn)行蒸鍍的方法也眾所周知。

專利文獻(xiàn)1：日本發(fā)明專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2013-112894號(hào)

專利文獻(xiàn)2：日本發(fā)明專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2002-97566號(hào)

專利文獻(xiàn)3：日本發(fā)明專利公開(kāi)公報(bào)平1-149955號(hào)

專利文獻(xiàn)4：日本發(fā)明專利公開(kāi)公報(bào)特開(kāi)2004-55180號(hào)

但是，在采用2個(gè)電子槍裝置對(duì)蒸發(fā)材料進(jìn)行交替加熱的情況下，在使用一個(gè)電子槍裝置時(shí)，而使另一個(gè)電子槍裝置停止工作。或者，與該情況相同的是，僅使用2個(gè)電子槍裝置中的一個(gè)電子槍裝置。在這些情況下，可能會(huì)導(dǎo)致該另一個(gè)電子槍裝置的加熱電流用電源和線圈用的電源等設(shè)備過(guò)剩，使設(shè)備成本上升。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述情況，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠產(chǎn)生多個(gè)電子束且能夠簡(jiǎn)化設(shè)備的電子槍裝置以及真空蒸鍍裝置。

為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的一個(gè)技術(shù)方案所涉及的電子槍裝置具有第1絲極、第2絲極、電源單元、切換單元與控制部。

上述第1絲極能夠產(chǎn)生第1電子束。

上述第2絲極能夠產(chǎn)生第2電子束。

上述電源單元具有：加熱電流供給部，其供給用于使上述第1絲極和上述第2絲極中的任意一個(gè)產(chǎn)生電子束的加熱電流；偏壓供給部，其向上述加熱電流施加偏壓。

上述切換單元構(gòu)成為，能夠選擇性地切換第1狀態(tài)和第2狀態(tài)，上述第1狀態(tài)為向上述第1絲極供給驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)，上述第2狀態(tài)為向上述第2絲極供給上述驅(qū)動(dòng)電流的狀態(tài)，其中，所述驅(qū)動(dòng)電流是對(duì)所述加熱電流施加所述偏壓后形成的電流。

上述控制部控制上述第1狀態(tài)和上述第2狀態(tài)的切換。

附圖說(shuō)明

圖1是表示具有本發(fā)明的第1實(shí)施方式所涉及的電子槍裝置的真空蒸鍍裝置。

圖2是上述電子槍裝置的電路圖。

圖3是表示上述電子槍裝置的控制部的一個(gè)動(dòng)作例的流程圖。

圖4是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的比較例所涉及的電子槍裝置的電路圖。

圖5是本發(fā)明的第1實(shí)施方式的參考例所涉及的真空蒸鍍裝置的示意圖。

圖6是本發(fā)明的第2實(shí)施方式所涉及的電子槍裝置的電路圖。

圖7是表示本發(fā)明的電子槍裝置的連接部的結(jié)構(gòu)和連接關(guān)系的局部電路圖。

圖8是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的參考例所涉及的電子槍裝置的電路圖。