[發(fā)明專利]判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480050252.3
• 申請日: 2014-09-11
• 公開（公告）號: CN105557081B
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭升源;崔鐘鎮(zhèn);柳希昱
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社高永科技
• 主分類號: G01N21/956
• 分類號: G01N21/956
• 代理公司: 北京青松知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

本發(fā)明涉及一種判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法。上述方法包括：在基板上的測量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標的步驟；在上述基板上的測量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個特征客體的坐標的步驟；針對連接上述最外圍的多個襯墊的坐標的第一多邊形的第一面積，計算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個特征客體的坐標的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及對上述比率和預(yù)先設(shè)定的基準值進行比較，來判斷補償矩陣的有效性的步驟。通過上述方法來判斷補償矩陣的有效性，從而能夠提高檢查基板時的檢查結(jié)果的可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法，更詳細地，涉及用于利用第一多邊形和第二多邊形的面積來補償襯墊的位置的判斷補償矩陣的有效性的方法，上述第一多邊形由測量區(qū)域(FOV)上的最外圍的多個襯墊的坐標形成，上述第二多邊形由上述測量區(qū)域上的最外圍的多個特征客體的坐標形成。

背景技術(shù)

一般情況下，在電子裝置的內(nèi)部設(shè)置有至少一個印刷電路基板(printedcircuitboard；PCB)，而在這種印刷電路基板上安裝有電路圖案、連接襯墊部以及與上述連接襯墊部電連接的驅(qū)動芯片等多種電路元件。

一般情況下，為了確認如上所述的多種電路元件是否正常形成于上述印刷電路基板，使用形狀測量裝置。

現(xiàn)有的形狀測量裝置設(shè)定規(guī)定的測量區(qū)域，并檢查規(guī)定的電路元件是否正常形成于上述測量區(qū)域內(nèi)。

只有在需要進行測量的位置準確地設(shè)定測量區(qū)域，才可以正常執(zhí)行對需要測量的電路元件的測量，然而印刷電路基板之類的測量對象物由于底部基板可以發(fā)生彎曲(warp)、扭曲(distortion)等歪曲，因而需要對此進行補償。

為此，可以利用印刷電路基板(PCB)上的彎曲圖案或孔圖案等特征客體來生成補償矩陣，并補償襯墊的位置，而此時，補償矩陣是否有效可以成為問題。

發(fā)明內(nèi)容

解決的技術(shù)問題

為了解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于，提供判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法，上述判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法可以為了補償測量區(qū)域上的襯墊的位置而判斷利用測量區(qū)域上的多個特征客體的坐標來生成的補償矩陣的有效性。

本發(fā)明的目的并不局限于以上所提及的目的，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠從以下的記載中明確地理解未提及的其他多種目的。

技術(shù)方案

用于解決上述問題的本發(fā)明一實施方式的判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法包括：在基板上的測量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個襯墊的坐標的步驟；在上述基板上的測量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個特征客體的坐標的步驟；針對連接上述最外圍的多個襯墊的坐標的第一多邊形的第一面積，計算出連接上述第一多邊形和上述最外圍的多個特征客體的坐標的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及基于上述比率是否為預(yù)先設(shè)定的基準值以上，為了補償上述測量區(qū)域內(nèi)的襯墊的坐標而判斷利用上述測量區(qū)域內(nèi)的多個特征客體的坐標值來生成的補償矩陣的有效性的步驟。

上述最外圍的多個襯墊的坐標可以為上述最外圍的多個襯墊的中心坐標，上述最外圍的多個特征客體的坐標可以為上述最外圍的多個特征客體的中心坐標。

上述特征客體可以為上述基板上的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的角落部分中的至少一種。

可以由(上述第一多邊形和上述第二多邊形的重疊的面積)/上述第一面積×100決定上述比率。

上述預(yù)先設(shè)定的基準值可以為50。

上述判斷檢查基板時的補償矩陣的有效性的方法還可以包括在上述比率為預(yù)先設(shè)定的基準值以上的情況下，判斷補償矩陣有效的步驟。

本發(fā)明還可以包括在上述比率小于預(yù)先設(shè)定的基準值的情況下，判定補償矩陣并不有效的步驟。