[發(fā)明專利]判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480050252.3
• 申請(qǐng)日: 2014-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105557081B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭升源;崔鐘鎮(zhèn);柳希昱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社高永科技
• 主分類號(hào): G01N21/956
• 分類號(hào): G01N21/956
• 代理公司: 北京青松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11384
• 代理人: 鄭青松

1.一種判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，包括：

在基板上的測(cè)量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的步驟；

在上述基板上的測(cè)量區(qū)域內(nèi)求得最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的步驟；

針對(duì)連接上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)的第一多邊形的第一面積，計(jì)算出上述第一多邊形和連接上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)的第二多邊形的重疊的第二面積的比率的步驟；以及

對(duì)上述比率和預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，來(lái)判斷補(bǔ)償矩陣的有效性的步驟。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，上述最外圍的多個(gè)襯墊的坐標(biāo)為上述最外圍的多個(gè)襯墊的中心坐標(biāo)，上述最外圍的多個(gè)特征客體的坐標(biāo)為上述最外圍的多個(gè)特征客體的中心坐標(biāo)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，上述特征客體為上述基板上的孔圖案、圓形圖案或彎曲圖案的角落部分中的至少一種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，由(上述第一多邊形和上述第二多邊形的重疊的面積)/上述第一面積×100決定上述比率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，上述預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值為50。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，判斷上述有效性的步驟包括在上述比率為預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值以上的情況下，判定補(bǔ)償矩陣有效的步驟。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，判斷上述有效性的步驟還包括在上述比率小于預(yù)先設(shè)定的基準(zhǔn)值的情況下，判定補(bǔ)償矩陣并不有效的步驟。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，利用上述測(cè)量區(qū)域內(nèi)的特征客體生成上述補(bǔ)償矩陣。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，在上述測(cè)量區(qū)域內(nèi)包括多個(gè)分割區(qū)域的情況下，上述判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法中的上述各步驟按上述多個(gè)分割區(qū)域分別執(zhí)行，判斷上述有效性的步驟對(duì)利用上述分割區(qū)域內(nèi)的特征客體的坐標(biāo)來(lái)生成的補(bǔ)償矩陣判斷有效性。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，上述多個(gè)分割區(qū)域?yàn)樯鲜鰷y(cè)量區(qū)域所包括的多個(gè)面板或多個(gè)部件中的一種。

11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的判斷檢查基板時(shí)的補(bǔ)償矩陣的有效性的方法，其中，上述基板為柔性印刷電路板。