[發明專利]金屬板、金屬板的制造方法、和使用金屬板制造掩模的方法

有效

• 申請號: 201480048190.2
• 申請日: 2014-09-12
• 公開（公告）號: CN105492654B
• 公開（公告）日: 2018-01-05
• 發明（設計）人: 池永知加雄;宮谷勛
• 申請（專利權）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 龐東成

1.一種金屬板的制造方法，其為通過形成2個以上的貫通孔而用于制造掩模的金屬板的制造方法，其中，

所述掩模的所述貫通孔是通過對所傳送的長條狀的所述金屬板進行蝕刻而形成的，

所述金屬板的制造方法具備下述工序：

軋制工序，在該工序中，對母材進行軋制而得到所述金屬板；和

切斷工序，在該工序中，以預定范圍切掉所述金屬板的寬度方向的一端和另一端，

所述切斷工序后的所述金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀起因于該金屬板的長度方向的長度根據其寬度方向的位置而有所不同，

將所述切斷工序后的所述金屬板的所述起伏形狀的高度相對于所述起伏形狀的所述長度方向的周期的百分比稱為陡峭度時，滿足以下條件(1)～(3)，

(1)所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的中央部分的陡峭度的最大值為0.4%以下；

(2)所述中央部分的陡峭度的最大值為所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的一端側部分的陡峭度的最大值以下，并且為所述切斷工序后的所述金屬板的寬度方向的另一端側部分的陡峭度的最大值以下；和

(3)所述一端側部分的陡峭度的最大值與所述另一端側部分的陡峭度的最大值之差為0.4%以下；

所述一端側部分、所述中央部分和所述另一端側部分分別是占所述切斷工序后的所述金屬板的寬度的30%、40%和30%的部分，

由所述金屬板制造的所述掩模是用于以所期望的圖案進行蒸鍍的蒸鍍掩模，

所述金屬板的厚度為0.020mm以上且0.100mm以下。

2.如權利要求1所述的金屬板的制造方法，其中，在所述切斷工序中切斷的所述金屬板的一端側的范圍和另一端側的范圍是基于在所述切斷工序之前實施的所述金屬板的所述起伏形狀的觀察工序的結果所決定的。

3.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，該制造方法進一步具備退火工序，在該工序中，將通過所述軋制工序得到的所述金屬板退火，以除去所述金屬板的內部應力，

所述退火工序在沿長度方向拉伸所述軋制后的母材的同時實施。

4.如權利要求1或2所述的金屬板的制造方法，其中，所述母材含有包含鎳的鐵合金。

5.一種掩模的制造方法，其為制造形成有2個以上貫通孔的掩模的方法，其中，

該制造方法具備下述工序：

準備金屬板的工序，該金屬板至少局部具有起伏形狀，該起伏形狀起因于該金屬板的長度方向的長度根據其寬度方向的位置而有所不同；

抗蝕劑圖案形成工序，該工序中，在所述金屬板上形成抗蝕劑圖案；和

蝕刻工序，該工序中，對所述金屬板中的未被所述抗蝕劑圖案覆蓋的區域進行蝕刻，在所述金屬板形成用于劃出所述貫通孔的凹部；

將所述金屬板的所述起伏形狀的高度相對于所述起伏形狀的所述長度方向的周期的百分比稱為陡峭度時，滿足以下條件(1)～(3)，

(1)所述金屬板的寬度方向的中央部分的陡峭度的最大值為0.4%以下；

(2)所述中央部分的陡峭度的最大值為所述金屬板的寬度方向的一端側部分的陡峭度的最大值以下，并且為所述金屬板的寬度方向的另一端側部分的陡峭度的最大值以下；和

(3)所述一端側部分的陡峭度的最大值與所述另一端側部分的陡峭度的最大值之差為0.4%以下；

所述一端側部分、所述中央部分和所述另一端側部分分別是占所述金屬板的寬度的30%、40%和30%的部分，

所述掩模是用于以所期望的圖案進行蒸鍍的蒸鍍掩模，

所述金屬板的厚度為0.020mm以上且0.100mm以下。

6.如權利要求5所述的掩模的制造方法，其中，

所述蒸鍍掩模具備形成有2個以上貫通孔的有效區域、和位于所述有效區域的周圍的周圍區域，

所述蝕刻工序對所述金屬板中的未被所述抗蝕劑圖案覆蓋的區域進行蝕刻，在用于形成所述有效區域的所述金屬板的區域內形成用于劃出所述貫通孔的凹部。

7.如權利要求5或6所述的掩模的制造方法，其中，

所述抗蝕劑圖案形成工序具有：

在所述金屬板上形成抗蝕劑膜的工序、

使曝光掩模與所述抗蝕劑膜真空密合的工序、和

隔著所述曝光掩模將所述抗蝕劑膜以預定的圖案曝光的工序。

8.如權利要求5或6所述的掩模的制造方法，其中，所述金屬板含有包含鎳的鐵合金。