[發(fā)明專利]含酚羥基的化合物、感光性組合物、抗蝕劑用組合物、抗蝕劑涂膜、固化性組合物、抗蝕劑下層膜用組合物、及抗蝕劑下層膜有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201480041092.6 | 申請日: | 2014-06-12 |
| 公開(公告)號: | CN105392765B | 公開(公告)日: | 2018-03-02 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 今田知之;佐藤勇介;木本誠二 | 申請(專利權(quán))人: | DIC株式會社 |
| 主分類號: | C07C39/14 | 分類號: | C07C39/14;G03F7/023;G03F7/11 |
| 代理公司: | 北京林達劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11277 | 代理人: | 劉新宇,李茂家 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 羥基 化合物 感光性 組合 抗蝕劑用 抗蝕劑涂膜 固化 抗蝕劑 下層 | ||
1.一種含酚羥基的化合物,其特征在于,具有下述結(jié)構(gòu)式(1)表示的分子結(jié)構(gòu),
式(1)中,R1為氫原子、烷基或芳基,n為2~10的整數(shù),R2為烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、鹵素原子中的任一種,m為0~4的整數(shù),m為2以上時,多個R2任選各自相同或不同,并任選與萘骨架的2個芳香環(huán)之中的任意一個鍵合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含酚羥基的化合物,其具有下述結(jié)構(gòu)式(1-1)表示的分子結(jié)構(gòu),
式(1-1)中,R1為氫原子、烷基或芳基,n為2~10的整數(shù),R2為烷基、烷氧基、芳基、芳烷基、鹵素原子中的任一種,m為0~4的整數(shù),m為2以上時,多個R2任選各自相同或不同,并任選與萘骨架的2個芳香環(huán)之中的任意一個鍵合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含酚羥基的化合物,其是使二羥基萘化合物和甲醛在堿性催化劑的存在下反應(yīng)而得到的。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含酚羥基的化合物,其是使二羥基萘化合物與碳原子數(shù)為2個以上的脂肪族醛化合物或芳香族醛化合物在酸性催化劑的存在下反應(yīng)而得到的。
5.一種感光性組合物,其含有權(quán)利要求1~4中任一項所述的含酚羥基的化合物和光敏劑。
6.一種抗蝕劑用組合物,其包含權(quán)利要求5所述的感光性組合物。
7.一種抗蝕劑涂膜,其由權(quán)利要求6所述的抗蝕劑用組合物形成。
8.一種固化性組合物,其含有權(quán)利要求1~4中任一項所述的含酚羥基的化合物和固化劑。
9.一種固化物,其是使權(quán)利要求8所述的固化性組合物固化而成的。
10.一種抗蝕劑下層膜用組合物,其包含權(quán)利要求8所述的固化性組合物。
11.一種抗蝕劑下層膜,其由權(quán)利要求10所述的抗蝕劑下層膜用組合物形成。
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