[發明專利]混合型透明電極的制造方法及混合型透明電極

有效

• 申請號: 201480039218.6
• 申請日: 2014-05-16
• 公開（公告）號: CN105393314B
• 公開（公告）日: 2017-05-17
• 發明（設計）人: 鄭光春;李仁淑;柳志勳;成俊基;韓大尚
• 申請（專利權）人: 印可得株式會社
• 主分類號: H01L21/28
• 分類號: H01L21/28;H01B13/00;H01B5/14
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙)11201
• 代理人: 宋融冰

技術領域

本發明涉及一種混合型透明電極的制造方法及混合型透明電極，更為詳細地，涉及一種在金屬微細電極圖案上形成有導電層的混合型透明電極的制造方法。

背景技術

最近，隨著電子產品的輕薄短小化的趨勢，顯示器及晶體管等的電子元件共同要求以高密度及高集成的形式制作，因此對于形成能夠使用在電極或者布線(metallization)上的金屬圖案的技術備受關注。

特別在觸摸面板中必需的透明電極的制作技術中，在基底上形成微細圖案，并且填充導電金屬油墨而形成的金屬圖案在電阻特性上非常有用。此外，還開發一種在基底膜上涂覆金屬納米線或者各種形式的金屬結構，從而提高光學特性和電特性的金屬基透明電極(TCF)。

但是，由這些材料形成的電極表面不適合以要求數十納米級表面平整度的OLED為主的其他顯示器的工藝中，并且因與在電極上形成的有機物質的功函數(Work function)的差異可能會提高能障(energy barrier)。

目前，在觸摸面板及顯示器用透明電極上商業使用以氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO)為主的氧化物透明電極，但是儲量有限，并且在氧化物的特性上缺乏柔軟性，在電阻特性上沒有金屬優異，因此不適合作為大面積的柔性顯示器來使用。

最近對大面積柔性顯示器的需求增加的這個時候，迫切需要開發一種電阻特性優異、柔軟、與有機物質的適應性出色的同時表面平整度優異的電極材料。

發明內容

技術問題

因此，本發明的目的是為了解決所述的以往問題而提出的，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法將具有機械特性及電特性的導電金屬油墨組合物和表面特性優異的氧化物電極混合而形成雙層的混合型透明電極。

此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法將金屬絡合物或者金屬前體作為導電金屬油墨組合物使用，從而制造能夠降低電阻的同時能夠保持優異的電特性的混合型透明電極。

此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法去除在利用導電金屬油墨組合物印刷微細電極圖案時有可能在非微細電極圖案區域的區域上產生的導電金屬油墨組合物的殘留物，從而制造能夠形成通過以往的技術難以實現的低電阻的微細圖案，并且透射率優異的混合型透明電極。

此外，其目的在于提供一種混合型透明電極的制造方法，該方法可通過調節導電層的厚度來改善機械特性，并且可通過最大限度地進行導電油墨組合物向金屬電極圖案內的填充，并在氧化物電極之間導入聚合物層，以提高表面特性和機械特性。

解決問題的方案

為了實現所述課題，本發明的混合型透明電極的一實施例的制造方法的特征在于，包括：油墨組合物的填充步驟，用于在具有槽的基底的所述槽中填充導電油墨組合物；殘留油墨組合物的填充步驟，用于將在所述槽中填充所述導電金屬油墨組合物時殘留在所述基底表面上的殘留導電金屬油墨組合物填滿到所述槽中來形成電極圖案；及導電層的形成步驟，用于在所述電極圖案上形成包含導電物質的導電層。

所述導電金屬油墨組合物可包括金屬絡合物、金屬前體、球形金屬粒子、金屬薄片、納米粒子或者納米線中的至少一種。

在所述油墨組合物的填充步驟中，優選通過噴墨法、平板絲網法、旋涂法、棒涂法、輥涂法、流涂法、刀片刮涂法、點膠法、凹版印刷法或者柔版印刷法來填充所述導電金屬油墨組合物。

在所述殘留油墨組合物的填充步驟中，可通過蝕刻液溶解在所述油墨組合物的填充步驟中在所述槽中填充所述導電油墨組合物時殘留在所述表面上的所述殘留導電金屬油墨組合物，并在所述槽中填充已溶解的所述殘留導電金屬油墨組合物。

本發明的特征在于，所述蝕刻液通過涂覆在所述基底的表面來溶解所述殘留導電金屬油墨組合物。

所述蝕刻液可通過平板絲網法、旋涂法、輥涂法、流涂法、刀片刮涂法、凹版印刷法或者柔版印刷法來進行涂覆。

所述蝕刻液可包括氨基甲酸銨系、碳酸銨系、碳酸氫銨系、羧酸系、內酯系、內酰胺系、環狀酸酐系、酸-堿鹽復合物、酸-堿-醇系復合物或者巰基系化合物中的至少一種及氧化劑。

本發明的特征在于，將通過蝕刻液溶解的所述殘留導電金屬油墨組合物推入所述槽中來在所述槽中填充所述殘留導電金屬油墨組合物。

對于通過所述蝕刻液溶解的所述殘留導電金屬油墨組合物，優選利用刀片或者刷子推入所述槽中。

所述導電物質可為金屬氧化物、CNT、石墨烯或者導電性高分子。

本發明的特征在于，所述導電層通過沉積或者印刷所述導電物質而形成。