[發(fā)明專利]飛散板、研磨輪及研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480038951.6
• 申請(qǐng)日: 2014-04-25
• 公開（公告）號(hào): CN105377507B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西村好信
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 勝高科技股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02;B24B55/02;B24D7/00;B24D7/10
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張雨,李婷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種飛散板、研磨輪及研磨裝置。

背景技術(shù)

以往，作為研磨被研磨件的研磨輪，使用杯型的部件。一般杯型的研磨輪具有設(shè)于輪基座上的環(huán)狀的磨石。磨石具有沿著環(huán)狀的外周方向以既定間隔設(shè)置的多個(gè)刀片。另一方面，設(shè)置這種研磨輪的研磨裝置，具有能夠供給研磨液的供給配管。研磨輪被設(shè)于此供給配管的開口端側(cè)。

在這種研磨加工中，若研磨被研磨件，則磨石磨損，需要更換研磨輪。因此，從抑制成本增加的觀點(diǎn)來說，希望延長(zhǎng)研磨輪的壽命。

專利文獻(xiàn)1：日本特許第4921430號(hào)公報(bào)。

專利文獻(xiàn)2：日本特開平9-38866號(hào)公報(bào)。

為延長(zhǎng)研磨輪的壽命，考慮增加磨石的高度尺寸。但是，在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下研磨時(shí)，與在較低的狀態(tài)下研磨的情況相比，距晶片研磨面的距離變遠(yuǎn)，所以，存在無法供給必要量的研磨液到晶片研磨面上的不良情況。因此，在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下研磨時(shí)，因?yàn)檠心ヒ旱墓┙o不足，有每一張晶片的磨石磨損量增大的問題。

因此，為抑制在磨石的高度尺寸較高的狀態(tài)下的磨石磨損量，考慮下述方法：例如對(duì)應(yīng)磨石磨損量使研磨液的供給流量變化（參照專利文獻(xiàn)1）。

但是，如在專利文獻(xiàn)1所述的方法中，有研磨液的供給流量的調(diào)整變復(fù)雜的問題。

此外，探討下述方法：使用具有被配置成放射狀的葉輪的飛散板，利用通過使該飛散板旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生的離心力，將研磨液供給至晶片研磨面（參照專利文獻(xiàn)2）。但是，在此方法中，有下述問題：由于需要設(shè)置葉輪，飛散板的構(gòu)造變得復(fù)雜。

綜上所述，在使經(jīng)由供給配管被供給的研磨液等供給液飛散的結(jié)構(gòu)中，期望以簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)將供給液向供給方向的飛散距離延長(zhǎng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種飛散板、研磨輪及研磨裝置，所述飛散板、研磨輪及研磨裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且能夠抑制成本增加，同時(shí)能夠?qū)⒐┙o液向供給方向的飛散距離延長(zhǎng)。

本發(fā)明的飛散板使經(jīng)由供給配管被供給的供給液飛散，其特征在于，具備板狀部件，前述板狀部件能夠配置成，在對(duì)置于前述供給配管的開口端的位置處，厚度方向與前述供給液的供給方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋轉(zhuǎn)軸為中心旋轉(zhuǎn)，在前述板狀部件上，在該板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心以外的部位上，設(shè)有在厚度方向上貫通且前述供給液能夠通過的飛散孔，前述飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面傾斜，使得位于對(duì)置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部與位于非對(duì)置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方，前述對(duì)置面對(duì)置于前述供給配管。

在此，作為供給液，只要是能夠經(jīng)由供給配管供給的液體即可，可以例示用于研磨、洗凈、化學(xué)反應(yīng)等的液體。另外，供給配管可以構(gòu)成為以與飛散板相同的速度旋轉(zhuǎn)或者以與飛散板不同的速度旋轉(zhuǎn)，也可以構(gòu)成為不旋轉(zhuǎn)。

根據(jù)本發(fā)明，使飛散板的飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面旋轉(zhuǎn)，使得位于對(duì)置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部與位于非對(duì)置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最后側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方，前述對(duì)置面對(duì)置于前述供給配管。

若使上述結(jié)構(gòu)的飛散板在對(duì)置于供給配管的開口端的位置處旋轉(zhuǎn)，則從供給配管被排出的供給液進(jìn)入飛散孔。此時(shí)，考慮為，該壁面的傾斜移動(dòng)至飛散板的旋轉(zhuǎn)方向的前方，由此對(duì)與飛散孔的旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面接觸的供給液施加向供給方向的力。因此，能夠在不調(diào)整供給液的供給流量的情況下，以僅使飛散孔的壁面如上述地傾斜的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)，來與以往的結(jié)構(gòu)相比延長(zhǎng)供給液向供給方向的飛散距離。

另外，在本發(fā)明的飛散板中，優(yōu)選地，前述飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面傾斜，使得位于前述對(duì)置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部與位于前述非對(duì)置面?zhèn)鹊那笆鲂D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方。

根據(jù)本發(fā)明，使飛散孔的位于旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面傾斜，使得位于對(duì)置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部與位于非對(duì)置面?zhèn)鹊男D(zhuǎn)方向的最前側(cè)的壁面端部相比位于旋轉(zhuǎn)方向的前方。

因此，若從供給配管被排出的供給液到達(dá)飛散孔，則借助旋轉(zhuǎn)方向的前側(cè)的壁面的傾斜，該供給液被向旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)引導(dǎo)。因此，能夠借助飛散孔的旋轉(zhuǎn)方向的后側(cè)的壁面，增加被施加向排出方向的力的供給液的量，能夠進(jìn)一步延長(zhǎng)供給液向排出方向的飛散距離。

另外，在本發(fā)明的飛散板中，優(yōu)選地，在前述板狀部件上設(shè)有多個(gè)前述飛散孔，多個(gè)前述飛散孔在以前述板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設(shè)置。

根據(jù)本發(fā)明，將多個(gè)飛散孔在以板狀部件的旋轉(zhuǎn)中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設(shè)置。