[發明專利]飛散板、研磨輪及研磨裝置

有效

• 申請號: 201480038951.6
• 申請日: 2014-04-25
• 公開（公告）號: CN105377507B
• 公開（公告）日: 2017-11-28
• 發明（設計）人: 西村好信
• 申請（專利權）人: 勝高科技股份有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02;B24B55/02;B24D7/00;B24D7/10
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張雨,李婷

1.一種飛散板，前述飛散板使經由供給配管被供給的供給液飛散，其特征在于，

具備板狀部件，前述板狀部件能夠配置成，在對置于前述供給配管的開口端的位置處，厚度方向與前述供給液的供給方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋轉軸為中心旋轉，

在前述板狀部件上，在以前述板部件的旋轉中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設有在厚度方向上貫通且前述供給液能夠通過的多個飛散孔，

前述多個飛散孔的位于旋轉方向的后側的壁面傾斜，使得位于對置面側的前述旋轉方向的最后側的壁面端部與位于非對置面側的前述旋轉方向的最后側的壁面端部相比位于旋轉方向的前方，前述對置面對置于前述供給配管，

前述多個飛散孔設置成前述假想圓的圓周與前述供給配管的開口邊緣一致。

2.如權利要求1所述的飛散板，其特征在于，

前述多個飛散孔的位于旋轉方向的前側的壁面傾斜，使得位于前述對置面側的前述旋轉方向的最前側的壁面端部與位于前述非對置面側的前述旋轉方向的最前側的壁面端部相比位于旋轉方向的前方。

3.一種研磨輪，前述研磨輪使用經由供給配管被供給的研磨液進行被研磨件的研磨，其特征在于，

具備輪基座和磨石，

前述輪基座為大致板狀，能夠配置成，在對置于前述供給配管的開口端的位置處，厚度方向與前述研磨液的供給方向大致平行，并且，以大致平行于前述厚度方向的旋轉軸為中心旋轉，

前述磨石被設置成從前述輪基座的不與前述供給配管對置的非對置面環狀地突出，被壓接在前述被研磨件上，

在前述輪基座上，在以前述輪基座的旋轉中心為中心的假想圓的圓周上等間隔地設有在厚度方向上貫通且前述研磨液能夠通過的多個飛散孔，

前述多個飛散孔的位于旋轉方向的后側的壁面傾斜，使得位于對置面側的前述旋轉方向的最后側的壁面端部與位于前述非對置面側的前述旋轉方向的最后側的壁面端部相比位于旋轉方向的前方，前述對置面對置于前述供給配管，

前述多個飛散孔設置成前述假想圓的圓周與前述供給配管的開口邊緣一致。

4.一種研磨裝置，其特征在于，

具備供給配管、飛散板和研磨輪，

前述飛散板為權利要求1或2所述的飛散板，前述飛散板使研磨液飛散，前述研磨液作為經由前述供給配管被供給的供給液，

前述研磨輪使用由前述飛散板飛散的研磨液來進行被研磨件的研磨。

5.一種研磨裝置，其特征在于，

具備供給配管和研磨輪，

前述研磨輪為權利要求3所述的研磨輪，前述研磨輪使用經由前述供給配管被供給的研磨液來進行被研磨件的研磨。