[發(fā)明專(zhuān)利]具有高熱波長(zhǎng)調(diào)諧效率的可調(diào)激光器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201480037709.7 | 申請(qǐng)日： | 2014-04-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105409071B | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳宏民;顏學(xué)進(jìn);苗容生;沈曉安;劉宗榮 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 華為技術(shù)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H01S5/026 | 分類(lèi)號(hào)： | H01S5/026;H01S5/50;H01S5/06;H01S5/042;H01S5/125;H01S5/0625;G02B6/12 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 518129 廣東*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 具有 高熱 波長(zhǎng) 調(diào)諧 效率 可調(diào) 激光器 | ||
1.一種單片集成熱可調(diào)激光器，其特征在于，包括：
襯底層；
熱調(diào)諧組件包括懸空隔熱結(jié)構(gòu)，所述熱調(diào)諧組件還包括：
砷化銦鎵下刻蝕停止層，位于所述襯底層上方；
隔熱層，位于所述砷化銦鎵下刻蝕停止層上方，其中所述隔熱層通過(guò)至少部分刻蝕由磷化銦犧牲層刻蝕出形成；
砷化銦鎵上刻蝕停止層，位于所述隔熱層上方；
波導(dǎo)層，位于所述砷化銦鎵上刻蝕停止層上方；
介電層，位于所述波導(dǎo)層上方，其中，所述介電層包括二氧化硅；
加熱元件，嵌入在位于所述介電層上方中；
多個(gè)刻蝕通道，在所述波導(dǎo)層和所述隔熱層之間延伸以支持在刻蝕期間刻蝕溶液在所述波導(dǎo)層與所述隔熱層之間的輸送。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述熱調(diào)諧組件進(jìn)一步包括前鏡和后鏡，其中所述加熱元件定位在所述前鏡和后鏡之間，其中所述前鏡和后鏡中的至少一個(gè)用于基于由所述加熱元件產(chǎn)生的熱量選擇性地反射穿過(guò)所述波導(dǎo)層的光。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的激光器，其特征在于，所述襯底層包括磷化銦材料。
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