[發(fā)明專利]用于對電測試件進(jìn)行電測試的測試設(shè)備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480037327.4
• 申請日: 2014-04-15
• 公開（公告）號: CN105393124A
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: U·高斯;J·諾伊鮑爾;斯蒂芬·特羅茨;J·哈普
• 申請（專利權(quán)）人: 精煉金屬股份有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種用于對電測試件、尤其是晶片進(jìn)行電測試的測試設(shè)備，該測試設(shè)備具有測試頭，在該測試頭中安裝有至少一個用于與測試件進(jìn)行電物理接觸的測試觸點。

背景技術(shù)

如前所述類型的測試設(shè)備用于對電測試件進(jìn)行電測試，該電測試件例如是晶片或設(shè)計在晶片上的電路。為了進(jìn)行測試，測試觸點將與測試件進(jìn)行物理接觸。測試觸點例如被設(shè)計為彎曲針(Knicknadel)。在這種情況下，彎曲針的一個端部用于實現(xiàn)與測試件的物理接觸。相反的端部則可以與測試設(shè)備的接觸裝置的連接接觸面電連接或進(jìn)行電連接。優(yōu)選測試設(shè)備具有大量的測試觸點。

在測試期間，測試觸點例如與測試件的測試接觸面處于物理接觸中。也就是說，優(yōu)選測試設(shè)備具有與測試件的測試接觸面同樣多或更多的測試觸點。在測試件或晶片上構(gòu)成的測試接觸面優(yōu)選由具有傳導(dǎo)性的材料構(gòu)成，特別是金屬材料，例如鋁、銅等。但是這種類型的材料在與空氣接觸時會在其表面上形成氧化層。為了進(jìn)行電測試，必須首先借助測試觸點去除該氧化層。因此對測試觸點有很高的機械要求并且要能夠承受磨損，這種磨損將大大縮短測試觸點的使用壽命。

已知的現(xiàn)有技術(shù)例如包括出版物DE102005035031A1。其展示了一種用于對晶片上的大量集成半導(dǎo)體線路進(jìn)行測試的裝置，其中設(shè)有至少一個單獨的噴嘴，用于將凈化氣體引入到晶片表面。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提出一種測試設(shè)備，其延長了測試觸點的使用壽命，并進(jìn)一步提高了測試件與測試觸點之間的接觸可靠性。

本發(fā)明的目的通過一種根據(jù)本發(fā)明的具有如權(quán)利要求1所述特征的測試設(shè)備來實現(xiàn)。在此設(shè)置為，在測試頭的壁中，在接觸區(qū)域中設(shè)置至少一個用于散布?xì)怏w、尤其是保護(hù)氣體的出口。在該接觸區(qū)域中，對測試件的物理接觸通過測試觸點來實現(xiàn)。該接觸區(qū)域優(yōu)選正好或至少包括測試觸點與測試件發(fā)生物理接觸的區(qū)域。

出口例如是出口通道的組成部分或由該出口通道構(gòu)成。在存在多個出口的情況下，優(yōu)選每個出口對應(yīng)一個單獨的出口通道。出口通道貫穿測試頭，尤其是貫穿測試頭的導(dǎo)引板，該導(dǎo)引板用于至少局部地、特別是完全地構(gòu)成出口。在此，特別優(yōu)選出口通道直接在導(dǎo)引板的材料中制成或由其加工而成。因此能夠以特別簡單的方式來實現(xiàn)根據(jù)本發(fā)明的出口。總的來說，可以使用已存在的部件，即測試頭或?qū)б鍖怏w引入接觸區(qū)域中。不需要附加的噴嘴元件等。

通過將氣體散布到接觸區(qū)域，可以減輕對測試件的腐蝕或氧化，因此在測試接觸面干凈時對測試觸點的機械要求很低。由此使得污染很少，這反過來又能夠增大測試設(shè)備的清潔間隔。此外，氣體能夠明顯減輕測試觸點的腐蝕或氧化，尤其是在其與電測試件發(fā)生物理接觸一側(cè)。因此總體而言延長了測試觸點的使用壽命。此外也改善了測試觸點與測試件之間的電物理接觸的接觸可靠性。

氣體可以例如用于對測試設(shè)備、尤其是至少一個測試觸點和/或電測試件進(jìn)行沖洗和/或冷卻。通過這種方式已經(jīng)能夠減輕腐蝕和/或氧化，因為腐蝕和/或氧化通常與溫度有關(guān)。特別是使用空氣作為用于沖洗或冷卻的氣體。優(yōu)選氣體在這種情形下具有特定的溫度，該溫度例如通過借助溫度控制裝置對氣體進(jìn)行溫度控制來實現(xiàn)。

如果還應(yīng)該進(jìn)一步實現(xiàn)保護(hù)作用，則可以采用保護(hù)氣體作為氣體。原則上可以使用任意一種能夠減輕或(在接觸區(qū)域中濃度足夠時)完全防止腐蝕或氧化的氣體作為保護(hù)氣體。優(yōu)選使用惰性氣體作為保護(hù)氣體，例如氮氣或稀有氣體。

用于將氣體散布到接觸區(qū)域的出口被設(shè)置在測試頭的壁中。這意味著，氣體在通過出口流入接觸區(qū)域之前將至少局部地流經(jīng)測試頭。這種出口設(shè)計的優(yōu)點在于，能夠?qū)怏w進(jìn)行高精度地計量和/或定位。即，通過適當(dāng)?shù)脑O(shè)置一個或可能多個的出口，就能夠在接觸區(qū)域中目的明確地調(diào)節(jié)所期望的氣體的濃度和/或所期望的流速。優(yōu)選設(shè)置多個出口。在設(shè)有多個測試觸點的情況下，可以在接觸區(qū)域中至少通過多個測試觸點、特別是每個測試觸點來獨立于其他測試觸點的接觸區(qū)域地調(diào)整所期望的氣體濃度和/或所期望的氣體流速。

更準(zhǔn)確地說，測試觸點例如被安裝在特別是設(shè)置于測試設(shè)備的接觸裝置與測試件之間的測試頭中。在此，為了實現(xiàn)對測試件的電物理接觸，測試觸點可以例如以其一側(cè)與接觸裝置的連接接觸面相連接，并以其另一相對的一側(cè)與測試件、尤其是測試件的測試接觸面發(fā)生物理接觸。因此在電測試期間，可以通過測試觸點在測試件與接觸裝置之間、尤其是在測試件的測試接觸面與接觸裝置的連接接觸面之間建立電連接。優(yōu)選氣體通過出口沿測試件的方向散布。為此目的，可以使設(shè)有出口的壁面向測試件。通過前述的方式可以將氣體直接輸送到測試件的區(qū)域中，即接觸區(qū)域中。