[發(fā)明專(zhuān)利]用于對(duì)電測(cè)試件進(jìn)行電測(cè)試的測(cè)試設(shè)備

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480037327.4
• 申請(qǐng)日: 2014-04-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105393124A
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-03-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: U·高斯;J·諾伊鮑爾;斯蒂芬·特羅茨;J·哈普
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 精煉金屬股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R1/04
• 分類(lèi)號(hào): G01R1/04;G01R31/28
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

1.一種用于對(duì)電測(cè)試件(2)、特別是晶片進(jìn)行電測(cè)試的測(cè)試設(shè)備(1)，具有測(cè)試頭(4)，在所述測(cè)試頭中安裝有至少一個(gè)用于與所述測(cè)試件(2)進(jìn)行電物理接觸的測(cè)試觸點(diǎn)(5)，其特征在于，在所述測(cè)試頭(4)的壁(15)中設(shè)置至少一個(gè)出口(13)，用于將氣體、特別是保護(hù)氣體散布到接觸區(qū)域(14)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試設(shè)備(1)包括具有連接接觸面(8)的接觸裝置(3)，所述連接接觸面與所述測(cè)試觸點(diǎn)(5)的背向所述測(cè)試件(2)的一側(cè)(7)是能電連接的或被電連接。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述接觸裝置(3)和所述測(cè)試頭(4)是測(cè)試卡、特別是豎直測(cè)試卡的一部分。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述壁(15)是所述測(cè)試頭(4)的導(dǎo)引板(16)的一部分，在所述導(dǎo)引板中設(shè)置至少一個(gè)導(dǎo)向凹口(17)，所述測(cè)試觸點(diǎn)(5)支承在所述導(dǎo)向凹口中。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，構(gòu)成所述出口(13)的出口通道(13′)貫穿所述導(dǎo)引板(16)。

6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，在所述測(cè)試頭(4)中設(shè)置與所述出口(13)流動(dòng)連接的腔室(20)。

7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述腔室(20)被至少一個(gè)測(cè)試觸點(diǎn)(5)貫穿。

8.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述腔室(20)至少局部地通過(guò)所述導(dǎo)引板(16)限定。

9.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述出口(13)通過(guò)所述腔室(20)與保護(hù)氣體供應(yīng)管道(21，22)流動(dòng)連接。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述連接接觸面(8)被配屬于所述接觸裝置(3)的觸點(diǎn)間隙變換器(10)。

11.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)氣體供應(yīng)管道(21，22)延伸穿過(guò)所述接觸裝置(3)，特別是延伸穿過(guò)所述觸點(diǎn)間隙變換器(10)。

12.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述保護(hù)氣體供應(yīng)管道(21，22)穿過(guò)所述測(cè)試頭(4)的側(cè)壁(19)或穿過(guò)面向所述接觸裝置(3)的保持板(18)通入所述腔室(20)。

13.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述出口通道(13′)具有縱向中軸線(xiàn)(25)，所述縱向中軸線(xiàn)垂直于所述導(dǎo)引板(16)或相對(duì)于所述導(dǎo)引板成角度。

14.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述出口通道(13′)沿其縱向中軸線(xiàn)(25)具有恒定的穿流橫截面。

15.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述出口通道(13′)沿其縱向中軸線(xiàn)(25)具有擴(kuò)大或縮小的穿流橫截面。

16.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述出口(13)和/或所述出口通道(13′)在橫截面中觀察是矩形、圓形或橢圓形的。

17.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)向凹口(17)配屬于測(cè)試區(qū)域(27)，在所述測(cè)試區(qū)域中，所述測(cè)試觸點(diǎn)(5)在所述測(cè)試頭(4)的面向所述測(cè)試件(2)的一側(cè)從所述導(dǎo)向凹口(17)突出。

18.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，為所述測(cè)試區(qū)域(27)配設(shè)多個(gè)導(dǎo)向凹口(17)。

19.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述多個(gè)導(dǎo)向凹口(17)沿著封閉的線(xiàn)設(shè)置。

20.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，在所述測(cè)試頭(4)上設(shè)有多個(gè)測(cè)試區(qū)域(27)。

21.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的測(cè)試設(shè)備，其特征在于，所述測(cè)試區(qū)域至少部分地被所述出口(13)或被多個(gè)出口(13)圍住。