[發明專利]真空泵

有效

• 申請號: 201480035337.4
• 申請日: 2014-06-06
• 公開（公告）號: CN105324578B
• 公開（公告）日: 2018-05-15
• 發明（設計）人: 坂口祐幸;三輪田透;三橋啟太
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉林華;李婷

1.一種真空泵，具備螺紋槽泵機構，該螺紋槽泵機構具有：轉子圓筒部，設置在能夠沿既定的旋轉方向旋轉的轉子；大致圓筒狀的定子，在該轉子圓筒部經由間隙而配置在與所述轉子圓筒部相同的軸上；多個突條部，在該定子的與所述轉子圓筒部對置的對置面或所述轉子圓筒部的與所述定子對置的對置面沿著氣體排氣方向延伸設置；以及螺紋槽，雕刻設置在該多個突條部之間，該真空泵將所述螺紋槽內的氣體從所述氣體排氣方向的吸氣側向排氣側傳送，其特征在于，

具備抑制所述螺紋槽的排氣側出口處的氣體的滯留的氣體滯留抑制裝置，

所述氣體滯留抑制裝置是從所述突條部的所述氣體排氣方向的排氣側的排氣側端部朝向所述轉子的所述旋轉方向的前方延伸設置而形成的流入抑制葉片。

2.一種真空泵，具備螺紋槽泵機構，該螺紋槽泵機構具有：轉子圓筒部，設置在能夠沿既定的旋轉方向旋轉的轉子；大致圓筒狀的定子，在該轉子圓筒部經由間隙而配置在與所述轉子圓筒部相同的軸上；多個突條部，在該定子的與所述轉子圓筒部對置的對置面或所述轉子圓筒部的與所述定子對置的對置面沿著氣體排氣方向延伸設置；以及螺紋槽，雕刻設置在該多個突條部之間，該真空泵將所述螺紋槽內的氣體從所述氣體排氣方向的吸氣側向排氣側傳送，其特征在于，

具備抑制所述螺紋槽的排氣側出口處的氣體的滯留的氣體滯留抑制裝置，

所述氣體滯留抑制裝置是豎立設置在所述轉子圓筒部或所述定子的排氣側端面的回旋滯留抑制壁。

3.根據權利要求2所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滯留抑制壁具備相對于朝向所述轉子圓筒部或所述定子的軸心的法線方向而沿著所述轉子的所述旋轉方向傾斜的氣體誘導面。

4.根據權利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，所述回旋滯留抑制壁與所述突條部一體地形成。