[發明專利]用于改進的電接觸的透明導電氧化物(TCO)薄膜的預處理

有效

• 申請號: 201480033512.6
• 申請日: 2014-06-12
• 公開（公告）號: CN105324707B
• 公開（公告）日: 2020-06-12
• 發明（設計）人: 托德·馬丁;阿比什克·阿南特·迪克西特;費邊·斯特朗;安舒·A·普拉丹
• 申請（專利權）人: 唯景公司
• 主分類號: G02F1/155
• 分類號: G02F1/155;G02F1/1523;G02F1/153
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 章蕾

某些實施方案涉及光學器件和制造光學器件的方法，所述方法預處理子層以實現所述預處理的子層和覆蓋層的選擇性移除。其他實施方案屬于制造光學器件的方法，所述方法施加犧牲材料層。

相關申請的交叉引用

根據美國法典第35篇第119條(e)款，本申請要求于2013年6月12日提交且名稱為“PRETREATMENT OF TCO THIN FILMS FOR IMPROVED ELECTRICAL CONTACT,”的美國臨時申請序列號61/834,372的優先權，該申請為了所有的目的以引用的方式整體并入本文。

領域

本文公開的實施方案一般涉及諸如電致變色器件的光學器件以及制造光學器件的方法。

背景

各種光學可切換的器件可供用于控制窗格的著色、反射率等。電致變色器件通常是光學可切換的器件的一個實例。電致變色是材料在置于不同電子狀態時(通常經受電壓變化)在光學性質上展現出可逆的電化學調節變化的現象。被操縱的光學性質通常是色彩、透射率、吸收率和反射率中的一個或多個。一種熟知的電致變色材料是氧化鎢(WO3)。氧化鎢是陰極電致變色材料，其中因電化學還原而發生顯色轉變(自透明轉變成藍色)。

例如，電致變色材料可并入到家庭、商業及其他用途的窗中。可通過引發電致變色材料的變化來改變此類窗戶的色彩、透射率、吸光率和/或反射率，即，電致變色窗是可用電子方法變深或變淺的窗。施加于窗的電致變色器件的小電壓將使窗變暗；使電壓反向會使窗變亮。這種能力允許控制穿過窗的光量，并為不僅出于美學目的而且出于節省能量目的使用電致變色窗而提供巨大機會。

因為在現代能量政策中能量節約是最重要的問題，預期電致變色窗行業將在未來數年強勁增長。電致變色窗制造的一個重要方面是在玻璃上涂布薄膜以產生電致變色器件堆，以及使器件堆圖案化來使其起作用。圖案化工藝的部分包括移除部分器件堆以揭露下面的透明導電氧化物(TCO)以便將電連接(例如母線)制造到暴露的下TCO和上TCO上，以便給它們傳送電力并因此穿過電致變色器件堆賦予電勢以驅動其著色功能。選擇性移除這些材料以揭露下面的TCO可能是有問題的，例如取決于組成電致變色器件的材料。

概述

本文公開的實施方案一般涉及諸如電致變色器件的光學器件以及制造光學器件的方法。

某些實施方案屬于一種制造光學器件的方法，其中該方法按以下順序包括：(a)將光學器件的子層暴露于能量源，(b)在子層上沉積光學器件的一個或多個材料層，以及(c)用激光燒蝕一個或多個材料層和子層以暴露下面的層。

某些實施方案屬于一種制造光學器件的方法，其中該方法包括：i)將犧牲材料層施加到光學器件的一個或多個子層的區域的一部分中，ii)在犧牲材料層和一個或多個子層上沉積光學器件的一個或多個材料層，以及iii)將激光施加到該部分以將光學器件燒蝕至少下降到犧牲材料層。

關于iii)中的犧牲層的區域，犧牲材料層可從一個或多個子層的區域的一部分中完全移除，或者犧牲層的區域中的一些可維持在其被施加到的區域中。關于滲透到犧牲層的深度，在某些實施方案中期望完全移除犧牲層以使得任何子層被清晰地暴露，例如，下面的透明導電層可被暴露用于施加母線。在其他實施方案中，犧牲層可在iii)之后在后續處理步驟中維持被移除。

某些實施方案屬于一種光學可切換器件，其包括基本透明襯底，設置在基本透明襯底上的下導電層，以及在襯底區域的一部分上方在下導電層上的母線，其中區域的剩余部分具有包括在底部導電層頂部在子層上的犧牲材料層的一個或多個材料層。

以下更詳細地描述這些和其他實施方案。

附圖簡述

圖1描繪根據多個實施方案的在電致變色窗構造中設置在襯底上方的電致變色器件的示意圖。