[發(fā)明專利]用于平面襯底的極性結(jié)構(gòu)的加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480032194.1
• 申請(qǐng)日: 2014-06-05
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105378905B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: K.霍伊格勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 阿西斯自動(dòng)系統(tǒng)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 趙辛;宣力偉

1.一種用于平面襯底的極性結(jié)構(gòu)的加工設(shè)備，

○具有中央基礎(chǔ)模塊(8)，具有與該中央基礎(chǔ)模塊(8)同心的、旋轉(zhuǎn)支承(14)的旋轉(zhuǎn)軸(10)，

○具有相對(duì)于旋轉(zhuǎn)支承(14)的同心的旋轉(zhuǎn)軸(10)極性間隔的、圍繞基礎(chǔ)模塊(8)成組布置的工藝站(6)，

○具有通過(guò)旋轉(zhuǎn)支承(14)支承的真空轉(zhuǎn)移室(4)，它相對(duì)于工藝站(6)圓周側(cè)密封地定位，

○具有被真空轉(zhuǎn)移室(4)容納的用于襯底的搬運(yùn)裝置(2)，和

○具有為真空轉(zhuǎn)移室(4)設(shè)置的用于搬運(yùn)裝置的通過(guò)孔(12)，它可以通過(guò)耦聯(lián)閥(7)截止，其特征在于，

○所述旋轉(zhuǎn)支承(14)是可以調(diào)整高度的，

○所述真空轉(zhuǎn)移室(4)徑向相對(duì)于基礎(chǔ)模塊的中心的旋轉(zhuǎn)軸(10)錯(cuò)開(kāi)，并且

○通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)支承(14)在該中央基礎(chǔ)模塊(8)的基面上在空間自由擺動(dòng)地支承。

2.如權(quán)利要求1所述的加工設(shè)備，其特征在于，徑向相對(duì)于旋轉(zhuǎn)支承(14)錯(cuò)開(kāi)的真空轉(zhuǎn)移室(4)相對(duì)于承載臂(20)可以圍繞平行于旋轉(zhuǎn)支承(14)的旋轉(zhuǎn)軸線(24)旋轉(zhuǎn)。

3.如權(quán)利要求2所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述承載臂(20)其相對(duì)于旋轉(zhuǎn)軸線的伸出長(zhǎng)度可以調(diào)整。

4.如權(quán)利要求1或2所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述真空轉(zhuǎn)移室(4)相對(duì)于承載臂(20)懸掛地可旋轉(zhuǎn)的連接。

5.如權(quán)利要求1或2所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述真空轉(zhuǎn)移室(4)相對(duì)于承載臂(20)可萬(wàn)向擺動(dòng)地支承。

6.如權(quán)利要求5所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述耦聯(lián)閥(7)在搬運(yùn)設(shè)備(35)的通過(guò)行程中后置于通過(guò)孔(12)地具有兩個(gè)位于前后的、先后要打開(kāi)的鎖閉蓋(56,57)，與壓力源連接的、壓力加載的過(guò)渡室(58)位于鎖閉蓋之間。

7.一種用于平面襯底的搬運(yùn)裝置，

具有用于在空間中可位移的用于襯底(34)的真空轉(zhuǎn)移室(4)的承載裝置(3)，

具有容納在真空轉(zhuǎn)移室(4)里面的用于襯底(34)的搬運(yùn)設(shè)備(35)，

具有為了真空轉(zhuǎn)移室(4)設(shè)置的用于搬運(yùn)設(shè)備(35)的轉(zhuǎn)移/通過(guò)孔(12)，并且

具有前置于轉(zhuǎn)移/通過(guò)孔(12)的、可通斷的耦聯(lián)閥(7)，其特征在于，所述承載裝置(3)通過(guò)多臂的機(jī)械手形成，對(duì)于碼垛機(jī)械手作為末端執(zhí)行器在空間中可自由擺動(dòng)地設(shè)有真空轉(zhuǎn)移室(4)。

8.如權(quán)利要求7所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述被相對(duì)于機(jī)械手的終端臂(17)可旋轉(zhuǎn)的真空轉(zhuǎn)移室(4)容納的搬運(yùn)設(shè)備(35)相對(duì)于真空轉(zhuǎn)移室(4)的外殼(36)中心地且可旋轉(zhuǎn)地支承并且具有徑向延伸的用于抓取器溜板(38)的導(dǎo)軌(37)。

9.如權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述抓取器溜板(38)形成多臂操作機(jī)械手(40)的末端執(zhí)行器，具有相對(duì)于真空轉(zhuǎn)移室(4)中心的徑向的支承。

10.如權(quán)利要求8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌(37)相對(duì)于真空轉(zhuǎn)移室(4)的外殼(36)可調(diào)整行程地支承。

11.如權(quán)利要求7或8所述的搬運(yùn)裝置，其特征在于，所述真空轉(zhuǎn)移室(4)容納至少一存放位置(33)和附屬于通過(guò)位置的定位站(51)。