[發(fā)明專利]導(dǎo)電圖案的制造方法和形成有導(dǎo)電圖案的基板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480023443.0
• 申請日: 2014-04-17
• 公開（公告）號: CN105164764B
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 內(nèi)田博;篠崎研二;岡崎惠理;大簱英樹;宮村泰直
• 申請（專利權(quán)）人: 昭和電工株式會社
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;B05D3/06;B05D5/12;H01B5/14
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 劉航;段承恩

本發(fā)明提供能夠簡易地實現(xiàn)窄間距的導(dǎo)電圖案的制造方法和形成有導(dǎo)電圖案的基板。在基板(10)的至少一個主面的全部或一部分面上形成金屬納米絲層(12)，隔著以規(guī)定圖案形成有透光部(14a)的掩模(14)而照射脈沖光，在所述規(guī)定圖案的形狀的區(qū)域?qū)⑺鼋饘偌{米絲層(12)中的金屬納米絲燒結(jié)，使所述規(guī)定圖案的形狀的區(qū)域顯現(xiàn)導(dǎo)電性。由此，能夠以簡易的工序制造具備任意圖案的導(dǎo)電圖案的基板。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及導(dǎo)電圖案的制造方法和形成有導(dǎo)電圖案的基板。

背景技術(shù)

近年來，作為便攜式電話機(jī)、便攜式終端或個人計算機(jī)等各種電子設(shè)備，已使用在顯示面板安裝透光性的觸摸屏，一邊通過觸摸屏目視確認(rèn)顯示面板的顯示，一邊用手指等對觸摸屏的表面進(jìn)行操作，由此能夠?qū)﹄娮釉O(shè)備進(jìn)行指示操作的電子設(shè)備。

作為這樣的觸摸屏，已知例如在透明的基板上沿X方向形成了規(guī)定形狀的透明電極圖案，并且沿Y方向(與X方向正交的方向)形成了同樣的透明電極圖案的靜電電容型觸摸屏。

上述觸摸屏中所使用的透明電極圖案，在形成有電極圖案的區(qū)域(導(dǎo)電性區(qū)域)和沒有形成電極圖案的區(qū)域(非導(dǎo)電性區(qū)域)中光學(xué)性質(zhì)產(chǎn)生差別，因此有時能夠視認(rèn)到電極圖案的所謂“圖案可見(骨見え)”會成為問題。為了防止這樣的“圖案可見”，需要使透明電極圖案的交界的間隔極窄。例如，靜電電容型觸摸屏的情況下，需要X方向的電極圖案與Y方向的電極圖案的間隔最大為50μm，優(yōu)選為20μm以下，更優(yōu)選為10μm以下，采用印刷法難以實現(xiàn)這樣的窄間距，因此采用光刻法進(jìn)行圖案化。

作為光刻法的例子，例如下述非專利文獻(xiàn)1中記載了以下工序。

(1)將含有金屬納米絲的導(dǎo)電性墨涂布于基板上的工序。

(2)進(jìn)行燒成，形成透明導(dǎo)電層的工序。

(3)將具有感光性的抗蝕劑形成于上述透明導(dǎo)電層上的工序。

(4)通過與微細(xì)圖案相應(yīng)的適當(dāng)?shù)恼诠庋谀刮g劑賦予光能量的工序。

(5)將所得到的抗蝕劑的潛像，通過使用適當(dāng)?shù)娘@像用溶液進(jìn)行溶出(洗脫)而顯像的工序。

(6)采用適當(dāng)?shù)奈g刻方法將露出的被圖案化膜(透明導(dǎo)電層)除去的工序。

(7)采用適當(dāng)?shù)姆椒▽埓娴目刮g劑除去的工序。

另外，專利文獻(xiàn)1中記載了以下工序。

(1)將在水中分散的含有銀納米絲的導(dǎo)電性墨涂布于基板上的工序。

(2)進(jìn)行燒成，形成銀納米絲網(wǎng)層的工序。

(3)將含有預(yù)聚物的光固化型的基質(zhì)材料形成于所述銀納米絲網(wǎng)層上的工序。

(4)通過與微細(xì)圖案相應(yīng)的適當(dāng)?shù)恼诠庋谀|(zhì)材料賦予光能量的工序。

(5)將非固化區(qū)域通過用溶劑(乙醇)洗滌而除去的工序?；?，使用膠帶、粘著性輥將非固化區(qū)域物理性地除去的工序。

在先技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特表2009-505358號公報

非專利文獻(xiàn)

非專利文獻(xiàn)1：Shih-Hsiang Lai，Chun-Yao Ou，Chia-Hao Tsai，Bor-ChuanChuang，Ming-Ying Ma，and Shuo-Wei Liang；SID Symposium Digest of TechnicalPapers，Vol.39，Issue 1，pp.1200-1202(2008)

發(fā)明內(nèi)容