[發(fā)明專利]固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201480020233.6 | 申請(qǐng)日： | 2014-03-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105121614B | 公開（公告）日： | 2020-04-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 鈴木清史;高梨慎也 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 帕萊斯化學(xué)株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C10M173/02 | 分類號(hào)： | C10M173/02;B23D61/18;B24B27/06;B28D5/04;C10M105/18;C10M107/34;C10M129/08;C10M129/16;C10M133/04;C10M135/36;C10M145/26;H01L21/304;C10N30/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314 | 代理人： | 程偉 |
| 地址： | 日本神*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固定 研磨 粒線鋸用 水溶性 切削 使用 鑄錠 方法 所得 電子 材料 用基板 | ||
本發(fā)明提供一種起泡少、切削性能高的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板。一種固定研磨粒線鋸用水溶性切削液，其含有化學(xué)式(1)表示的(a)2,4,7,9?四甲基?5?癸炔?4,7?二醇的伸烷基加成物。又，一種鑄錠的切削方法及由上述切削方法所得的電子材料用基板，上述鑄錠的切削方法，是使用上述固定研磨粒線鋸用水溶性切削液，通過(guò)固定研磨粒線鋸切削鑄錠而獲得作為電子材料基板的晶圓。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種用以切削硅鑄錠的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板。
背景技術(shù)
先前以來(lái)，電子材料用基板的晶圓是通過(guò)使用有游離研磨粒的利用帶鋸(バンドソー)或線鋸的切削而獲得。然而，使用有游離研磨粒的切削存在如下問(wèn)題：漿料附著于經(jīng)切削的晶圓，后續(xù)步驟中的洗凈負(fù)荷高，又，不易自使用液將游離研磨粒、沉淀物(スラッジ)、切削液分離，再利用性差。
針對(duì)這些問(wèn)題，開發(fā)出利用電鍍或樹脂黏合劑將研磨粒固定于在線的固定研磨粒線鋸，具有簡(jiǎn)化洗凈步驟、或通過(guò)將切削液與沉淀物分離而提高再利用性的優(yōu)點(diǎn)。作為使用此固定研磨粒線鋸切削為電子材料用基板的晶圓時(shí)所使用的切削液，提出了水或例如專利文獻(xiàn)1及2中的水溶性切削液。
專利文獻(xiàn)1：日本特開2003-82334號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2：日本特開2009-57423號(hào)公報(bào)。
發(fā)明內(nèi)容
然而，近年來(lái)，為了提高質(zhì)量方面及切削速度，而使線速度逐步加快，存在如下問(wèn)題：若使用如專利文獻(xiàn)1及2所揭示的水溶性切削液切削成為電子材料用基板的鑄錠，則所使用的水溶性切削液會(huì)起泡，而無(wú)法獲得質(zhì)量良好的晶圓。
因此，本發(fā)明提供一種起泡少、切削性能高的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板。
為了達(dá)成以上目的，本發(fā)明人等努力進(jìn)行反復(fù)研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)通過(guò)使用含有(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇(2,4,7,9―テトラメチル－5－デシン－4,7－ジオール)的伸烷基(アルキレン)加成物的水溶性切削液，即便在用于固定研磨粒線鋸時(shí)，亦可進(jìn)行起泡少、切削性能高的切削，從而完成本發(fā)明。即，本發(fā)明涉及一種固定研磨粒線鋸用水溶性切削液，其特征在于：含有下述化學(xué)式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物。
[化學(xué)式1]
化學(xué)式(1)
(其中，R表示分別相同或不同的碳數(shù)1～4的伸烷基，m1+m2+n1+n2表示伸烷基加成物的總加成摩爾數(shù)，為1以上的整數(shù))。
又，本發(fā)明涉及一種鑄錠的切削方法、及由上述切削方法所得的電子材料用基板，上述鑄錠的切削方法的特征在于：使用上述固定研磨粒線鋸用水溶性切削液，通過(guò)固定研磨粒線鋸切削鑄錠而獲得作為電子材料用基板的晶圓。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明，可提供一種起泡少、切削性能高的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液中使用的(a)成分即2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物具有下述化學(xué)式(1)表示的結(jié)構(gòu)。
[化學(xué)式2]
化學(xué)式(1)
(其中，R表示分別相同或不同的碳數(shù)1～4的伸烷基，m1+m2+n1+n2表示伸烷基加成物的總加成摩爾數(shù)，為1以上的整數(shù))。
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