[發明專利]固定研磨粒線鋸用水溶性切削液、使用其的鑄錠的切削方法及由其所得的電子材料用基板有效
| 申請號: | 201480020233.6 | 申請日: | 2014-03-26 |
| 公開(公告)號: | CN105121614B | 公開(公告)日: | 2020-04-17 |
| 發明(設計)人: | 鈴木清史;高梨慎也 | 申請(專利權)人: | 帕萊斯化學株式會社 |
| 主分類號: | C10M173/02 | 分類號: | C10M173/02;B23D61/18;B24B27/06;B28D5/04;C10M105/18;C10M107/34;C10M129/08;C10M129/16;C10M133/04;C10M135/36;C10M145/26;H01L21/304;C10N30/00 |
| 代理公司: | 北京戈程知識產權代理有限公司 11314 | 代理人: | 程偉 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 固定 研磨 粒線鋸用 水溶性 切削 使用 鑄錠 方法 所得 電子 材料 用基板 | ||
1.一種固定研磨粒線鋸用水溶性切削液,含有下述化學式(1)表示的(a)2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇的伸烷基加成物、(b)羧酸、巰基苯并噻唑、苯并噻唑基硫代乙酸及苯并噻唑基硫代丙酸中的至少1種以上、及(c)胺、氫氧化鈉及氫氧化鉀中的至少1種以上,并且
所述(a)的伸烷基加成物的總加成摩爾數為4~12摩爾,
所述(a)的含量為0.01~5.0重量%,
所述(c)的含量為可中和所述(b)的量或為此量以上,且所述(b)與所述(c)的總和為5重量%以下,
[化學式1]
化學式(1)
其中,R表示分別相同或不同的碳數1~4的伸烷基,m1+m2+n1+n2表示伸烷基加成物的總加成摩爾數,為4~12的整數。
2.根據權利要求1所述的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液,其進而含有(d)二醇、聚伸烷基二醇、二醇醚、聚伸烷基二醇醚、甘油及甘油的伸烷基加成物中的至少1種以上。
3.一種鑄錠的切削方法,使用根據權利要求1所述的固定研磨粒線鋸用水溶性切削液,通過固定研磨粒線鋸切削鑄錠而獲得電子材料用基板。
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