[發(fā)明專(zhuān)利]研磨用組合物、研磨用組合物制造方法及研磨物制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480008802.5
• 申請(qǐng)日: 2014-02-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104995277A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 土屋公亮;丹所久典;淺田真希;須賀裕介
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福吉米株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): C09K3/14
• 分類(lèi)號(hào): C09K3/14;B24B37/00
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

1.一種研磨用組合物，其包含磨粒、水溶性聚合物和水，

所述研磨用組合物在所述磨粒的含量為0.2質(zhì)量％的濃度時(shí)，利用動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的所述研磨用組合物中包含的顆粒的體積平均粒徑DA為20nm～60nm，

所述磨粒的平均一次粒徑DP1為5nm～35nm，且平均二次粒徑DP2為10nm～60nm，

所述水溶性聚合物選自纖維素衍生物、包含氧化烯單元的聚合物、包含N-乙烯基內(nèi)酰胺型的單體單元的聚合物、包含N-乙烯基鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、亞胺衍生物形成的水溶性聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的環(huán)狀酰胺的單體單元的聚合物、乙烯基醇系聚合物以及支鏈淀粉，

所述研磨用組合物的pH值為9.0至12.0。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨用組合物，其中，所述磨粒的平均一次粒徑DP1為15nm～30nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨用組合物，其中，所述磨粒的平均二次粒徑DP2為20nm～50nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨用組合物，其中，所述水溶性聚合物的重均分子量為1×104～80×104。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的研磨用組合物，其中，所述水溶性聚合物的重均分子量為1×104～80×104。

6.根據(jù)權(quán)利要求1、2、5中的任一項(xiàng)所述的研磨用組合物，其還含有堿性化合物。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的研磨用組合物，其還含有堿性化合物。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨用組合物，其還含有堿性化合物。

9.一種研磨用組合物制造方法，其是包含磨粒、水溶性聚合物、堿性化合物和水的研磨用組合物的制造方法，該方法包括：

準(zhǔn)備包含所述磨粒、所述堿性化合物和水的分散液；

準(zhǔn)備包含所述水溶性聚合物和水的水溶液；和

對(duì)所述分散液添加所述水溶液并混合，

此處，所述研磨用組合物在所述磨粒的含量為0.2質(zhì)量％的濃度時(shí)，利用動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的所述研磨用組合物中包含的顆粒的體積平均粒徑DA為20nm～60nm，

所述磨粒的平均一次粒徑DP1為5nm～35nm，且平均二次粒徑DP2為10nm～60nm，

所述水溶性聚合物選自纖維素衍生物、包含氧化烯單元的聚合物、包含N-乙烯基內(nèi)酰胺型的單體單元的聚合物、包含N-乙烯基鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、亞胺衍生物形成的水溶性聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的環(huán)狀酰胺單體單元的聚合物、乙烯基醇系聚合物以及支鏈淀粉，

所述研磨用組合物的pH值為9.0至12.0。

10.一種研磨物制造方法，其包括：

向研磨對(duì)象物供給研磨液；和

用所述研磨液對(duì)所述研磨對(duì)象物的表面進(jìn)行研磨；

此處，作為向所述研磨對(duì)象物供給的研磨液，使用如下的研磨液：

所述研磨液包含磨粒、水溶性聚合物和水，

且含有在所述磨粒的含量為0.2質(zhì)量％的濃度時(shí)利用動(dòng)態(tài)光散射法測(cè)定的體積平均粒徑DA為20nm～60nm的顆粒，

所述磨粒的平均一次粒徑DP1為5nm～35nm，且平均二次粒徑DP2為10nm～60nm，

所述水溶性聚合物選自纖維素衍生物、包含氧化烯單元的聚合物、包含N-乙烯基內(nèi)酰胺型的單體單元的聚合物、包含N-乙烯基鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、亞胺衍生物形成的水溶性聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的鏈狀酰胺的單體單元的聚合物、包含具有N-(甲基)丙烯酰基的環(huán)狀酰胺的單體單元的聚合物、乙烯基醇系聚合物以及支鏈淀粉，

所述研磨用組合物的pH值為9.0至12.0。