[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201480006501.9
• 申請(qǐng)日: 2014-01-31
• 公開（公告）號(hào): CN104968617B
• 公開（公告）日: 2017-07-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鈴木諒;君嶋哲郎
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安瀚視特控股株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B5/225
• 分類號(hào): C03B5/225
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 林斯凱

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種熔融玻璃原料而制造玻璃基板的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置。尤其涉及一種玻璃基板的制造方法中的澄清步驟。

背景技術(shù)

通常，玻璃基板是經(jīng)過由玻璃原料產(chǎn)生熔融玻璃后、使熔融玻璃成形為玻璃基板的步驟而制造。在所述步驟中，包含將熔融玻璃內(nèi)所含的微小的氣泡去除的步驟(以下，也稱為澄清)。澄清是以如下方式進(jìn)行：一面加熱管狀的澄清槽的本體，一面使調(diào)配有澄清劑的熔融玻璃通過該澄清槽本體(以下，也僅稱為本體)，利用澄清劑的氧化還原反應(yīng)而將熔融玻璃中的氣泡去除。更具體而言，當(dāng)進(jìn)一步提高經(jīng)粗熔解的熔融玻璃的溫度而使澄清劑發(fā)揮功能從而使氣泡上浮脫泡之后，降低溫度，由此，未完全脫泡而殘留的相對(duì)較小的氣泡被熔融玻璃吸收。即，澄清包含使氣泡上浮脫泡的處理(以下，也稱為脫泡處理或脫泡步驟)及使小泡吸收至熔融玻璃的處理(以下，也稱為吸收處理或吸收步驟)。以前，澄清劑通常為As₂O₃，但近年來從環(huán)境負(fù)荷的觀點(diǎn)而言，使用SnO₂等。

為了由高溫的熔融玻璃量產(chǎn)出質(zhì)量較高的玻璃基板，理想的是考慮成為玻璃基板的缺陷的主要原因的雜質(zhì)等未從制造玻璃基板的任一種裝置混入至熔融玻璃。因此，在玻璃基板的制造過程中與熔融玻璃接觸的構(gòu)件的內(nèi)壁必需根據(jù)與該構(gòu)件接觸的熔融玻璃的溫度、所要求的玻璃基板的質(zhì)量等，而由適當(dāng)?shù)牟牧蠘?gòu)成。例如，已知構(gòu)成所述澄清槽本體的材料通常可使用鉑或鉑合金等鉑族金屬(專利文獻(xiàn)1)。鉑或鉑合金雖昂貴但熔點(diǎn)較高，對(duì)熔融玻璃的耐蝕性也優(yōu)異。

在脫泡步驟時(shí)加熱澄清槽本體的溫度根據(jù)應(yīng)成形的玻璃基板的組成而有所不同，為1600～1700℃左右。

作為加熱澄清槽本體的技術(shù)，例如，已知通過在澄清槽本體設(shè)置一對(duì)凸緣狀的電極，并對(duì)該電極偶施加電壓，而對(duì)澄清槽本體進(jìn)行通電加熱的技術(shù)(專利文獻(xiàn)2)。而且，在凸緣狀的電極，設(shè)置有由銅或鎳構(gòu)成的水冷管。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本專利特表2006-522001號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本專利特表2011-513173號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

[發(fā)明所要解決的問題]

近年來，玻璃基板中所含的鉑雜質(zhì)成為問題。

近年來，例如，液晶顯示器(LCD)、有機(jī)EL(Electroluminescence，電致發(fā)光)顯示器等平板顯示器中使用的玻璃基板(FPD用玻璃基板)內(nèi)所含的鉑雜質(zhì)特別嚴(yán)格地受限制。而且，不僅在用于平板顯示器時(shí)成為問題，在其他用途中也成為問題。

然而，如所述專利文獻(xiàn)2中記載般，若以水冷管冷卻凸緣狀的電極，則在澄清槽的電極附近的位置，溫度局部降低。

另一方面，在澄清槽本體的內(nèi)部表面由鉑或鉑合金(鉑族金屬)構(gòu)成的情況下，與氣相空間(包含氧氣的氛圍)接觸的部分會(huì)揮發(fā)。已揮發(fā)的鉑或鉑合金在澄清槽的電極附近的溫度局部降低的位置凝結(jié)，成為凝結(jié)物并附著。該凝結(jié)物的一部分掉落并混入至脫泡步驟中的熔融玻璃中，從而可能作為鉑雜質(zhì)而混入至玻璃基板。

鑒于以上方面，本發(fā)明欲提供一種可減少玻璃制品的鉑雜質(zhì)的玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置。

[解決問題的技術(shù)手段]

本發(fā)明具有以下態(tài)樣。

[態(tài)樣1]

一種玻璃基板的制造方法，包含熔解步驟、澄清步驟及成形步驟，該玻璃基板的制造方法的特征在于：

所述澄清步驟中使用的澄清槽是由鉑或鉑合金構(gòu)成，且具有用以對(duì)所述澄清槽進(jìn)行通電加熱的凸緣狀的電極，

在所述澄清步驟中，

在所述經(jīng)通電加熱的澄清槽內(nèi)，以具有氣相空間的方式調(diào)整液位使所述熔融玻璃通過，由此進(jìn)行脫泡，

為了抑制所述電極的發(fā)熱而冷卻所述電極，且

所述電極的冷卻是以所述澄清槽的壁的溫度成為超過所述澄清槽的氣相空間內(nèi)產(chǎn)生的鉑蒸氣凝結(jié)的溫度的范圍的方式得以控制。

[態(tài)樣2]

如態(tài)樣1的玻璃基板的制造方法，其中，在所述澄清步驟中，

對(duì)所述電極或所述電極附近的澄清槽的溫度進(jìn)行測(cè)定，且

基于所述測(cè)定出的溫度，調(diào)整所述電極的冷卻量。

[態(tài)樣3]

如態(tài)樣2的玻璃基板的制造方法，其中，在所述澄清步驟中，

判定所述測(cè)定出的電極或電極附近的澄清槽的溫度是否在預(yù)先規(guī)定的溫度范圍內(nèi)，當(dāng)所述判定的結(jié)果為測(cè)定出的溫度處于所述預(yù)先規(guī)定的溫度范圍外時(shí)，調(diào)整所述冷卻量。

[態(tài)樣4]