[發明專利]Ag合金膜形成用濺射靶及Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金導電膜、Ag合金半透明膜

有效

• 申請號: 201480004766.5
• 申請日: 2014-01-21
• 公開（公告）號: CN104919081B
• 公開（公告）日: 2016-11-09
• 發明（設計）人: 歲森悠人;野中荘平
• 申請（專利權）人: 三菱綜合材料株式會社
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C22C5/06;C22F1/00;C22F1/14
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 樸圣潔;王珍仙

技術領域

本發明涉及一種用于形成Ag合金膜(Ag合金反射膜、Ag合金導電膜、Ag合金半透明膜)的Ag合金膜形成用濺射靶及Ag合金膜、Ag合金反射膜、Ag合金導電膜、Ag合金半透明膜，所述Ag合金膜用于在顯示器或照明中使用的發光元件及光記錄用光盤等的光反射層、觸摸面板等的配線、紅外線阻隔膜和透明導電膜等。

本申請主張基于2013年1月23日于日本申請的日本專利申請2013-010070號及2014年1月14日于日本申請的日本專利申請2014-004584號的優先權，并將其內容援用于此。

背景技術

通常，出于提高出光效率的目的，在有機EL或反射型液晶等顯示器、LED等發光元件或光記錄用光盤等上形成有光反射層。其中，由Ag及Ag合金構成的Ag膜及Ag合金膜的反射率高，因此被廣泛用作上述光反射層。

例如，專利文獻1中公開有作為有機EL元件的反射電極的構成材料而使用Ag合金的內容。

專利文獻2公開有作為半導體發光元件的電極的構成材料而使用以高效率反射光的Ag或Ag合金的內容。

專利文獻3中公開有作為光存儲介質的反射層的構成材料而使用Ag或Ag合金的內容。

并且，Ag膜及Ag合金膜除上述用途之外，還用于光學儀器用反射鏡、太陽電能池用反射膜、照明裝置的反射器等中。

另一方面，上述Ag膜及Ag合金膜的導電性也很優異，因此例如專利文獻4中所公開的，也被用作觸摸面板的引出配線。此外，如同專利文獻5中所記載，膜厚較薄的Ag膜也被用作半透明膜。由Ag構成的半透明膜也被用作顯示器用透明導電膜或底部發射方式的有機EL的陰極。

專利文獻1：日本專利公開2012-059576號公報

專利文獻2：日本專利公開2006-245230號公報

專利文獻3：日本專利公開2004-322556號公報

專利文獻4：日本專利公開2009-031705號公報

專利文獻5：日本專利第4395844號公報

然而，雖然由純Ag構成的Ag膜的反射率或透射率等光學特性優異，但耐環境性(對于耐濕環境的耐性)不夠充分，因此在使用環境下反射率或透射率等光學特性下降，因此在長期使用中存在可靠性問題。

并且，上述發光元件或顯示器中，在其制造過程中進行高溫熱處理，因此有可能在經熱處理之后Ag膜或Ag合金膜的反射率下降，而無法發揮充分的特性。因此要求在盡可能維持接近純Ag膜的高反射率的同時，反射率在熱處理之后也不下降的Ag合金膜。

此外，將由純Ag構成的Ag膜用作配線時，存在導致在濕熱環境下產生粒子生長并使比電阻值變動的問題。并且，純Ag的耐鹽水性、耐熱性、耐濕性等各種耐性不夠充分，因此有可能導致Ag膜在使用環境下或制造工藝中變質。

發明內容

該發明鑒于上述情況而完成，其目的在于提供一種能夠形成如下Ag合金膜的Ag合金膜形成用濺射靶、Ag合金膜、由該Ag合金膜構成的Ag合金導電膜、Ag合金反射膜及Ag合金半透明膜，即所述Ag合金膜的反射率或透射率等光學特性優異且具有較低的比電阻值，并且耐熱性、耐環境性等各種耐性優異，反射率在熱處理之后也不會產生大的變化，反射率或透射率等光學特性及比電阻值在使用環境下也不會產生大的變化。

為了解決上述課題，本發明的Ag合金膜形成用濺射靶，其中，其具有如下組成，即0.2原子％以上2.0原子％以下的Sb、0.05原子％以上1.00原子％以下的Mg，余量由Ag和不可避免雜質構成。

如此構成的本發明的Ag合金膜形成用濺射靶中，Sb的含量為0.2原子％以上，因此能夠提高耐熱性及耐環境性，并且在成膜后的制造過程中即便進行熱處理等也能夠抑制反射率產生大的變化，并且即便長期使用反射率或透射率等光學特性及比電阻值也不會產生大的變化。并且，Sb的含量為2.0原子％以下，因此在剛成膜之后也能夠確保優異的光學特性和較低的比電阻值。

并且，Mg的含量為0.05原子％以上，因此能夠抑制Ag的粒子生長，且通過與Sb的協同效應能夠大幅提高耐熱性，并且也能夠提高耐鹽水性。并且，Mg的含量為1.00原子％以下，因此能夠確保優異的光學特性和較低的比電阻值，并且在濕熱環境下能夠抑制反射率或透射率等光學特性及比電阻值產生較大變化。

鑒于以上幾點能夠形成如下Ag合金膜，即剛成膜之后的光學特性優異且具有較低的比電阻值，并且，即便在成膜后的制造過程經歷熱處理等，反射率也不會產生大的變化，反射率或透射率等光學特性及比電阻值在使用環境下也不會產生大的變化。