[發明專利]研磨物的制造方法無效
| 申請號： | 201480003235.4 | 申請日： | 2014-10-02 |
| 公開（公告）號： | CN104822491A | 公開（公告）日： | 2015-08-05 |
| 發明（設計）人： | 北村和正;長江智毅 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 李曉 |
| 地址： | 日本國愛知縣名*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種研磨物的制造方法，其是研磨被研磨物，來制造研磨物的方法，
其特征在于，包含磨削工序，所述磨削工序是利用以10m/s以下的圓周速度旋轉的砂輪磨削所述被研磨物的表面。
2.如權利要求1所述的研磨物的制造方法，其特征在于，在所述磨削工序中，利用以0.5m/s以上的圓周速度旋轉的砂輪磨削所述被研磨物的表面。
3.如權利要求1或2所述的研磨物的制造方法，其特征在于，在所述磨削工序中，磨削作為被研磨物的氧化鋁、藍寶石、碳化硅以及氮化鎵的表面。
4.如權利要求1～3中任一項所述的研磨物的制造方法，
其特征在于，包含使用磨粒研磨所述磨削后的所述被研磨物的研磨工序。
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