[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板制造裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480000438.8
• 申請日: 2014-03-26
• 公開（公告）號: CN104302584B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 君嶋哲郎;村上次伸
• 申請（專利權(quán)）人: 安瀚視特控股株式會社
• 主分類號: C03B5/027
• 分類號: C03B5/027;C03B5/235;C03C3/083;C03C3/085;C03C3/087;C03C3/091
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11287
• 代理人: 林斯凱

1.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于包含：

熔解步驟，在熔解槽中，利用使用燃燒機構(gòu)的氣相中的燃燒加熱及通過使電流流入熔融玻璃而進(jìn)行的通電加熱，以成為包含氧化錫且粘度為10^2_.5泊時的溫度為1580℃以上的玻璃的方式將玻璃原料熔解；以及

澄清步驟，使用氧化錫的氧化還原反應(yīng)進(jìn)行所述熔融玻璃的澄清；且

以所述燃燒加熱的發(fā)熱量相對于所述通電加熱的發(fā)熱量的比成為1.0以上且2.8以下的方式進(jìn)行所述燃燒加熱與所述通電加熱。

2.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于包含：

熔解步驟，在熔解槽中，利用使用燃燒機構(gòu)的氣相中的燃燒加熱及通過使電流流入熔融玻璃而進(jìn)行的通電加熱，以成為包含SnO₂且粘度為10^2_.5泊時的溫度為1580℃以上的玻璃的方式將玻璃原料熔解；且

以所述燃燒加熱的發(fā)熱量相對于所述通電加熱的發(fā)熱量的比成為1.5以上且2.8以下的方式進(jìn)行所述燃燒加熱與所述通電加熱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中所述澄清步驟中的所述熔融玻璃的最高溫度高于所述熔解槽中的所述熔融玻璃的最高溫度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中所述玻璃基板的應(yīng)變點為680℃以上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中所述玻璃基板中的堿金屬氧化物的含有率為0摩爾％以上且0.4摩爾％以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中所述玻璃基板至少包含SiO₂、Al₂O₃、B₂O₃及RO，其中R是Mg、Ca、Sr及Ba中含于所述玻璃基板中的全部元素，且B₂O₃的含有率為0～7摩爾％。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中覆蓋所述熔解槽的氣相空間的頂面的拱形部的溫度為1610℃以下。

8.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于包含：

熔解步驟，在熔解槽中，利用使用燃燒機構(gòu)的氣相中的燃燒加熱及通過使電流流入熔融玻璃而進(jìn)行的通電加熱，以成為包含氧化錫且應(yīng)變點為680℃以上的玻璃的方式將玻璃原料熔解；以及

澄清步驟，使用氧化錫的氧化還原反應(yīng)進(jìn)行所述熔融玻璃的澄清；且

以所述燃燒加熱的發(fā)熱量相對于所述通電加熱的發(fā)熱量的比成為1.0以上且2.8以下的方式進(jìn)行所述燃燒加熱與所述通電加熱。

9.根據(jù)權(quán)利要求1、3及8中任一項所述的玻璃基板的制造方法，其中所述澄清步驟包含：消泡處理，在所述熔解步驟之后，以2.5℃/min以上的升溫速度使所述熔融玻璃的溫度升溫至1630℃以上，由此在所述熔融玻璃中產(chǎn)生氣泡而進(jìn)行消泡；以及吸收處理，在所述消泡處理之后，對所述熔融玻璃進(jìn)行降溫，由此使所述熔融玻璃吸收所述熔融玻璃中的氣泡。

10.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于包含：

熔解步驟，在熔解槽中，利用使用燃燒機構(gòu)的氣相中的燃燒加熱及通過使電流流入熔融玻璃而進(jìn)行的通電加熱，將玻璃原料熔解，該玻璃原料是以成為包含氧化錫且堿金屬氧化物的含有率為0～0.4摩爾％的玻璃基板的方式調(diào)制而成；以及

澄清步驟，使用氧化錫的氧化還原反應(yīng)進(jìn)行所述熔融玻璃的澄清；且

以所述燃燒加熱的發(fā)熱量相對于所述通電加熱的發(fā)熱量的比成為1.0以上且3.4以下的方式進(jìn)行所述燃燒加熱與所述通電加熱。