[實用新型]一種聚集離子束的真空系統有效
| 申請號： | 201420872273.0 | 申請日： | 2014-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN204348679U | 公開（公告）日： | 2015-05-20 |
| 發明（設計）人： | 尚躍;余夕霞 | 申請（專利權）人： | 上海聚躍電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01J41/12 | 分類號： | H01J41/12 |
| 代理公司： | 無 | 代理人： | 無 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 聚集 離子束 真空 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述真空系統包括真空泵、分子泵、樣品室、氣缸閥和排氣閥，所述真空泵通過管道分別與分子泵、樣品室連接，所述樣品室安裝在分子泵的頂部，所述氣缸閥位于分子泵與樣品室之間，所述氣缸閥與分子泵密封連接，所述排氣閥安裝在真空泵與樣品室之間的管道上。
2.根據權利要求1所述的聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述真空泵與樣品室之間的管道上設有第一閥門，所述排氣閥安裝在第一閥門與樣品室之間的管道上。
3.根據權利要求2所述的聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述真空系統還包括第二電磁閥,所述第一閥門通過第二電磁閥進行開啟與關閉。
4.根據權利要求3所述的聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述真空泵與分子泵之間的管道上設有第二閥門，所述第二閥門通過第二電磁閥進行開啟與關閉。
5.根據權利要求1所述的聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述排氣閥與樣品室之間的管道上安裝有真空計。
6.根據權利要求1至5任一所述的聚集離子束的真空系統，其特征在于，所述真空系統還包括第一電磁閥,所述氣缸閥通過第一電磁閥進行開啟與關閉。
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