[實(shí)用新型]一種聚集離子束的真空系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420872273.0
• 申請(qǐng)日: 2014-12-27
• 公開（公告）號(hào): CN204348679U
• 公開（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尚躍;余夕霞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海聚躍電子科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J41/12
• 分類號(hào): H01J41/12
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及設(shè)備檢測(cè)領(lǐng)域，具體涉及一種聚集離子束的真空系統(tǒng)。

背景技術(shù)

聚集離子束的機(jī)臺(tái)在使用過程中，每次將樣品放到樣品室都需要放真空和抽真空兩個(gè)動(dòng)作，這兩個(gè)動(dòng)作需要花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間，操作效率比較低，同時(shí)，分子泵的轉(zhuǎn)速每次在0-48000轉(zhuǎn)/分之間來回運(yùn)動(dòng)，這樣容易造成真空泵的損壞，經(jīng)濟(jì)損失非常大(目前一個(gè)真空泵的價(jià)格約為30萬)。

實(shí)用新型內(nèi)容

鑒于目前聚集離子束的真空系統(tǒng)存在的上述不足，本實(shí)用新型提供一種工作效率高、能完全避免分子泵損壞的聚集離子束的真空系統(tǒng)。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用根據(jù)下技術(shù)方案：

一種聚集離子束的真空系統(tǒng)，所述真空系統(tǒng)包括真空泵、分子泵、樣品室、氣缸閥和排氣閥，所述真空泵通過管道分別與分子泵、樣品室連接，所述樣品室安裝在分子泵的頂部，所述氣缸閥位于分子泵與樣品室之間，所述氣缸閥與分子泵密封連接，所述排氣閥安裝在真空泵與樣品室之間的管道上。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述真空泵與樣品室之間的管道上設(shè)有第一閥門，所述排氣閥安裝在第一閥門與樣品室之間的管道上。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述真空系統(tǒng)還包括第二電磁閥,所述第一閥門通過第二電磁閥進(jìn)行開啟與關(guān)閉。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述真空泵與分子泵之間的管道上設(shè)有第二閥門，所述第二閥門通過第二電磁閥進(jìn)行開啟與關(guān)閉。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述排氣閥與樣品室之間的管道上安裝有真空計(jì)。

依照本實(shí)用新型的一個(gè)方面，所述真空系統(tǒng)還包括第一電磁閥,所述氣缸閥通過第一電磁閥進(jìn)行開啟與關(guān)閉。

本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)：由于本實(shí)用新型的真空系統(tǒng)包括真空泵、分子泵、樣品室、氣缸閥和排氣閥，真空泵通過管道分別與分子泵、樣品室連接，樣品室安裝在分子泵的頂部，氣缸閥位于分子泵與樣品室之間，排氣閥安裝在真空泵與樣品室之間的管道上，當(dāng)聚集離子束的機(jī)臺(tái)停止取樣品時(shí)，將氣缸閥關(guān)閉，由于氣缸閥與分子泵密封連接，可讓分子泵始終保持全速運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，排氣閥打開能快速使樣品室處于大氣狀態(tài)，從而輕易取出樣品，節(jié)省大量時(shí)間，當(dāng)聚集離子束的機(jī)臺(tái)工作時(shí)，將氣缸閥打開，由于分子泵處于全速運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，這樣樣品室很快就達(dá)到一個(gè)高度真空狀態(tài)，避免分子泵從零轉(zhuǎn)速狀態(tài)快速提升到全速運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，大幅提高了分子泵的壽命，所以聚集離子束的真空系統(tǒng)的工作效率高、能完全避免分子泵損壞。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型的一種聚集離子束的真空系統(tǒng)的示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所示，一種聚集離子束的真空系統(tǒng)，所述真空系統(tǒng)包括真空泵9、分子泵3、樣品室1、氣缸閥2和排氣閥5，真空泵9通過管道8分別與分子泵3、樣品室1連接，樣品室1安裝在分子泵3的頂部，氣缸閥2位于分子泵3與樣品室1之間，氣缸閥2與分子泵3密封連接，排氣閥5安裝在真空泵9與樣品室1之間的管道8上。

在實(shí)際應(yīng)用中，為了實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動(dòng)化操作，真空系統(tǒng)設(shè)置了第一電磁閥11和第二電磁閥6,真空泵9與樣品室1之間的管道8上設(shè)有第一閥門7，這樣通過第一閥門7可開啟或關(guān)閉真空泵9與樣品室1之間的通道，排氣閥5安裝在第一閥門7與樣品室1之間的管道8上，為了完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，氣缸閥2通過第一電磁閥11進(jìn)行開啟與關(guān)閉，第一電磁閥11的工作電壓一般選用24V，第一閥門7通過第二電磁閥6進(jìn)行開啟與關(guān)閉，第二電磁閥6的工作電壓一般選用220V，同理，真空泵9與分子泵3之間的管道8上設(shè)有第二閥門10，這樣通過第二閥門10可開啟或關(guān)閉真空泵9與分子泵3之間的通道，第二閥門10也通過第二電磁閥6進(jìn)行開啟與關(guān)閉。

在實(shí)際應(yīng)用中，本實(shí)用新型的聚集離子束的真空系統(tǒng)廣泛應(yīng)用到設(shè)備檢測(cè)領(lǐng)域，尤其是芯片檢測(cè)設(shè)備，為了實(shí)時(shí)檢測(cè)樣品室1的真空度，排氣閥5與樣品室1之間的管道8上安裝有真空計(jì)4。