[實(shí)用新型]晶圓存儲盒開蓋裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420870484.0
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN204407299U
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王振榮;劉紅兵
• 申請（專利權(quán)）人: 上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 上海脫穎律師事務(wù)所 31259
• 代理人: 李強(qiáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓制造領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓存儲盒開蓋裝置。

背景技術(shù)

晶圓(Wafer)是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。經(jīng)過前處理、電鍍、清洗后的晶圓需要盡快放入晶圓存儲盒中進(jìn)行密封存儲，避免在存放過程中被空氣中的灰塵、水汽等雜質(zhì)二次污染，影響晶圓的品質(zhì)?，F(xiàn)有技術(shù)中，當(dāng)經(jīng)過前處理、電鍍、清洗后的晶圓需要密封存儲時(shí)，一般通過工人手動(dòng)抓取晶圓存儲盒的盒蓋，打開容腔，待晶圓放入容腔后，再通過工人手動(dòng)抓取盒蓋蓋住容腔，效率低，延長了晶圓在空氣中的暴露的時(shí)間，使晶圓受到污染。工人手動(dòng)操作，勞動(dòng)強(qiáng)度大，用人成本高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種可自動(dòng)打開晶圓存儲盒的盒蓋的晶圓存儲盒開蓋裝置。

為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，包括：

支撐臺；所述支撐臺用于支撐晶圓存儲盒；

盒蓋抓取裝置；所述盒蓋抓取裝置設(shè)置在所述支撐臺的一側(cè)，用于抓取晶圓存儲盒的盒蓋；所述盒蓋抓取裝置可相對所述支撐臺移動(dòng)。

優(yōu)選地是，還包括定位裝置；所述定位裝置包括兩個(gè)以上定位柱；所述定位柱設(shè)置在所述支撐臺上并凸出所述支撐臺；晶圓存儲盒上設(shè)有與所述定位柱相適應(yīng)的插孔或插槽；所述定位柱插入插槽，將晶圓存儲盒定位在所述支撐臺上的指定位置。

優(yōu)選地是，還包括位置檢測裝置；所述位置檢測裝置用于檢測晶圓存儲盒是否位于指定的位置。

優(yōu)選地是，所述位置檢測裝置包括至少一個(gè)活動(dòng)塊；所述活動(dòng)塊設(shè)置在所述支撐臺上凸出所述支撐臺，且可相對所述支撐臺做升降運(yùn)動(dòng)；每個(gè)所述活動(dòng)塊的下方均設(shè)有一個(gè)開關(guān)；所述活動(dòng)塊下降后開啟所述開關(guān)或關(guān)閉所述開關(guān)。

優(yōu)選地是，還包括鎖緊裝置；所述鎖緊裝置用于將晶圓存儲盒鎖緊在所述支撐臺上。

優(yōu)選地是，所述鎖緊裝置包括擋塊；所述擋塊可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述支撐臺上；所述擋塊與所述支撐臺之間設(shè)有空隙；還包括第一驅(qū)動(dòng)裝置；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述擋塊轉(zhuǎn)動(dòng)或通過第一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述擋塊轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為第一伺服電機(jī)或第一氣缸；所述擋塊插入晶圓存儲盒上的插孔內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度后，將所述晶圓存儲盒限制在所述之支撐臺上。

優(yōu)選地是，還包括支架；所述支架包括底座和豎板；所述支撐臺可移動(dòng)地設(shè)置在所述底座上；所述豎板設(shè)置在所述底座的一側(cè)；所述盒蓋抓取裝置包括蓋板；所述豎板設(shè)置有通孔；所述蓋板可拆卸地設(shè)置在所述豎板上并封住所述通孔；所述底座和所述蓋板分別位于所述豎板的兩側(cè)。

優(yōu)選地是，還包括第二驅(qū)動(dòng)裝置；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺相對所述支架移動(dòng)或通過第二傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述支撐臺相對所述支架移動(dòng)；所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為第二伺服電機(jī)或第二氣缸。

優(yōu)選地是，所述第二傳動(dòng)裝置為第一絲杠螺母；所述第一絲杠螺母包括螺紋配合的第一絲桿和第一螺母；所述第一絲桿和所述第一螺母中的一個(gè)受所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，另一個(gè)與所述支撐臺連接。

優(yōu)選地是，還包括轉(zhuǎn)軸；所述蓋板可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；還包括第三驅(qū)動(dòng)裝置；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)或通過第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板轉(zhuǎn)動(dòng)；所述第三驅(qū)動(dòng)裝置為第三伺服電機(jī)或第三氣缸。

優(yōu)選地是，還包括第四驅(qū)動(dòng)裝置；所述第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板做升降運(yùn)動(dòng)或通過第四傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述蓋板做升降運(yùn)動(dòng)；所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為第四伺服電機(jī)或第四氣缸。

優(yōu)選地是，還包括伸縮臂，所述伸縮臂包括套筒和伸縮桿，所述伸縮桿插置于所述套筒內(nèi)并可沿所述套筒移動(dòng)以調(diào)整伸縮臂的長度；所述伸縮臂下端可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝于所述轉(zhuǎn)軸上；第三驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮臂繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)或通過第三傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮臂繞轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿和套筒之一移動(dòng)或通過第四傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿和套筒之一移動(dòng)。

優(yōu)選地是，所述第四傳動(dòng)裝置為第二絲杠螺母；所述第二絲杠螺母包括螺紋配合的第二絲桿和第二螺母；所述第二絲桿和所述第二螺母中的一個(gè)受所述第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，另一個(gè)與所述蓋板連接。

優(yōu)選地是，所述蓋板上設(shè)有吸盤；所述吸盤用于吸附盒蓋。

優(yōu)選地是，所述支撐臺攜帶晶圓存儲盒朝所述豎板移動(dòng)后，使晶圓存儲盒抵靠在豎板上；所述蓋板抓取所述盒蓋。