[實用新型]晶圓存儲盒開蓋裝置

有效

• 申請號: 201420870484.0
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN204407299U
• 公開（公告）日: 2015-06-17
• 發明（設計）人: 王振榮;劉紅兵
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

1.晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，包括：

支撐臺；所述支撐臺用于支撐晶圓存儲盒；

盒蓋抓取裝置；所述盒蓋抓取裝置設置在所述支撐臺的一側，用于抓取晶圓存儲盒的盒蓋；所述盒蓋抓取裝置可相對所述支撐臺移動。

2.根據權利要求1所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括定位裝置；所述定位裝置包括兩個以上定位柱；所述定位柱設置在所述支撐臺上并凸出所述支撐臺；晶圓存儲盒上設有與所述定位柱相適應的插孔或插槽。

3.根據權利要求1所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括位置檢測裝置；所述位置檢測裝置用于檢測晶圓存儲盒是否位于指定的位置。

4.根據權利要求3所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述位置檢測裝置包括至少一個活動塊；所述活動塊設置在所述支撐臺上凸出所述支撐臺，且可相對所述支撐臺做升降運動；每個所述活動塊的下方均設有一個開關；所述活動塊下降后開啟所述開關或關閉所述開關。

5.根據權利要求1所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括鎖緊裝置；所述鎖緊裝置用于將晶圓存儲盒鎖緊在所述支撐臺上。

6.根據權利要求5所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述鎖緊裝置包括擋塊；所述擋塊可轉動地設置在所述支撐臺上；所述擋塊與所述支撐臺之間設有空隙；還包括第一驅動裝置；所述第一驅動裝置驅動所述擋塊轉動或通過第一傳動裝置驅動所述擋塊轉動；所述第一驅動裝置為第一伺服電機或第一氣缸；所述擋塊插入晶圓存儲盒上的插孔內轉動一定角度后，將晶圓存儲盒限制在支撐臺上。

7.根據權利要求1所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括支架；所述支架包括底座和豎板；所述支撐臺可移動地設置在所述底座上；所述豎板設置在所述底座的一側；所述豎板設置有通孔；所述盒蓋抓取裝置包括蓋板；所述蓋板可拆卸地設置在所述豎板上并封住所述通孔；所述底座和所述蓋板分別位于所述豎板的兩側。

8.根據權利要求7所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括第二驅動裝置；所述第二驅動裝置驅動所述支撐臺相對所述支架移動或通過第二傳動裝置驅動所述支撐臺相對所述支架移動；所述第二驅動裝置為第二伺服電機或第二氣缸。

9.根據權利要求8所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述第二傳動裝置為第一絲杠螺母；所述第一絲杠螺母包括螺紋配合的第一絲桿和第一螺母；所述第一絲桿和所述第一螺母中的一個受所述第二驅動裝置驅動轉動，另一個與所述支撐臺連接。

10.根據權利要求7所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括第四驅動裝置；所述第四驅動裝置驅動所述蓋板做升降運動或通過第四傳動裝置驅動所述蓋板做升降運動；所述第四驅動裝置為第四伺服電機或第四氣缸。

11.根據權利要求7所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括轉軸；所述蓋板可繞所述轉軸轉動地設置；還包括第三驅動裝置，所述第三驅動裝置驅動所述蓋板轉動或通過第三傳動裝置驅動所述蓋板繞所述轉軸轉動；所述第三驅動裝置為第三伺服電機或第三氣缸。

12.根據權利要求11所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括第四驅動裝置；所述第四驅動裝置驅動所述蓋板做升降運動或通過第四傳動裝置驅動所述蓋板做升降運動；所述第四驅動裝置為第四伺服電機或第四氣缸。

13.根據權利要求12所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，還包括伸縮臂，所述伸縮臂包括套筒和伸縮桿，所述伸縮桿插置于所述套筒內并可沿所述套筒移動以調整伸縮臂的長度；所述伸縮臂下端可轉動地安裝于所述轉軸上；第三驅動裝置驅動伸縮臂繞轉軸轉動或通過第三傳動裝置驅動伸縮臂繞轉軸轉動，第四驅動裝置驅動伸縮桿和套筒之一移動或通過第四傳動裝置驅動伸縮桿和套筒之一移動。

14.根據權利要求12所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述第四傳動裝置為第二絲杠螺母；所述第二絲杠螺母包括螺紋配合的第二絲桿和第二螺母；所述第二絲桿和所述第二螺母中的一個受所述第四驅動裝置驅動轉動，另一個與所述蓋板連接。

15.根據權利要求7所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述蓋板上設有吸盤；所述吸盤用于吸附盒蓋。

16.根據權利要求7所述的晶圓存儲盒開蓋裝置，其特征在于，所述支撐臺攜帶晶圓存儲盒朝所述豎板移動后，使晶圓存儲盒抵靠在豎板上；所述蓋板抓取所述盒蓋。