[實用新型]一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置

有效

• 申請號: 201420869848.3
• 申請日: 2014-12-23
• 公開（公告）號: CN204325488U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 王戀貴;董安光;譚華;秦遵紅
• 申請（專利權）人: 洛陽康耀電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及磁力傳動技術領域，尤其是一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置。

背景技術

目前，在真空磁控濺射鍍膜設備中，裝載玻璃的基片架小車傳動要求平穩，加減速良好，并且和真空腔體之間有著良好的絕緣。在國產或進口設備中，早期的設備比較普遍的采用的是齒輪傳動，小車直接和導軌接觸。在經過緩沖腔室的時候，導輪和導軌之間的距離、垂直度、平行度、傳動精度很難調整，并且直接接觸形成摩擦致齒輪齒條、導軌和小車滑動輪都容易磨損。小車在運行過程中平穩性很差，前進方式是通過齒輪和齒條硬接觸，沒有減震，運行時容易抖動，震動。另外當軌道發生偏斜時小車易脫軌，導致小車撞壞其他腔體內部的設備部件，造成比較嚴重的后果。小車在靶材濺射區域直接和腔體連接，沒有形成絕緣隔離，造成靶材在濺射過程中容易打弧、跳靶，影響設備的穩定性。造成生產產品合格率低下，產品質量較差。

鑒于上述原因，現有的真空磁控濺射鍍膜傳動裝置的結構需要改進。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，結構簡單，設計合理，操作方便，制造成本低，運行效果顯著，提高了工作效率，提升了產品質量，適用于真空磁控濺射鍍膜設備連續基片流，提升了小車在真空室內運行的平穩性能、加減速性能、絕緣性能、顯著提高了生產產品的質量、提高生產產量、合格率，對優化工藝有著明顯的改善，有效降低了設備的故障率，在真空磁控鍍膜設備中屬于高端設備的技術改革。

本實用新型為了實現上述目的，采用如下技術方案：一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，是由：車體、上絕緣塊、一號磁靴、倒U形磁鐵護套、強磁N極、下絕緣座、傳動導向桿、傳動系統傳動輪、T形磁鐵護套、強磁S極、二號磁靴、螺釘構成；車體上方設置至少五個上絕緣塊，下方設置至少五個下絕緣座，上絕緣塊的上方與倒U形磁鐵護套之間設置一號磁靴，倒U形磁鐵護套內設置強磁N極，下絕緣座下方設置傳動導向桿，傳動導向桿下方與傳動系統傳動輪對應設置；倒U形磁鐵護套上方設置T形磁鐵護套，T形磁鐵護套與倒U形磁鐵護套之間預留磁場作用空間，T形磁鐵護套內設置強磁S極，T形磁鐵護套上方設置二號磁靴，T形磁鐵護套通過螺釘固定在二號磁靴上，二號磁靴設置在真空腔室頂部。所述的上絕緣塊的剖面為H形，上絕緣塊的上下方分別構成上卡槽與下卡槽，下卡槽與車體上方對應設置，上卡槽與一號磁靴的下方對應設置。

所述的T形磁鐵護套內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁S極；倒U形磁鐵護套內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁N極，倒U形磁鐵護套內的強磁N極與一號磁靴的上方對應設置。

所述的下絕緣座的上方設置上卡槽，下方設置弧形凹槽，上卡槽與車體下方對應設置，弧形凹槽與傳動導向桿對應設置。

所述的T形磁鐵護套與倒U形磁鐵護套位于同一垂直線上。

所述的T形磁鐵護套內的強磁S極垂直于二號磁靴。

所述的強磁N極采用3200-4500高斯的釤鈷磁鐵，強磁S極采用3800-5000高斯的釤鈷磁鐵。

本實用新型的有益效果是：本實用新型車體上下方的上絕緣塊和下絕緣座使車體與真空室絕緣達到與陰、陽極絕緣，T形磁鐵護套內的強磁S極與倒U形磁鐵護套內的強磁N極產生相互的吸引力，使車體向上處于懸浮狀態，同時，強磁S極和強磁N極的磁鐵頑校力相抵消后，使強磁S極和強磁N極避免吸在一起，傳動導向桿與傳動系統傳動輪摩擦接觸，摩擦力為車體的重力減去向上的吸力，車體隨著傳動系統傳動輪的轉動向前平穩運行。