[實用新型]一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置

有效

• 申請號: 201420869848.3
• 申請日: 2014-12-23
• 公開（公告）號: CN204325488U
• 公開（公告）日: 2015-05-13
• 發明（設計）人: 王戀貴;董安光;譚華;秦遵紅
• 申請（專利權）人: 洛陽康耀電子有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56;C23C14/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，是由：車體(1)、上絕緣塊(2)、一號磁靴(3)、倒U形磁鐵護套(4)、強磁N極(5)、下絕緣座(6)、傳動導向桿(7)、傳動系統傳動輪(8)、T形磁鐵護套(9)、強磁S極(10)、二號磁靴(11)、螺釘(12)構成；其特征在于：車體(1)上方設置至少五個上絕緣塊(2)，下方設置至少五個下絕緣座(6)，上絕緣塊(2)的上方與倒U形磁鐵護套(4)之間設置一號磁靴(3)，倒U形磁鐵護套(4)內設置強磁N極(5)，下絕緣座(6)下方設置傳動導向桿(7)，傳動導向桿(7)下方與傳動系統傳動輪(8)對應設置；倒U形磁鐵護套(4)上方設置T形磁鐵護套(9)，T形磁鐵護套(9)與倒U形磁鐵護套(4)之間預留磁場作用空間，T形磁鐵護套(9)內設置強磁S極(10)，T形磁鐵護套(9)上方設置二號磁靴(11)，T形磁鐵護套(9)通過螺釘(12)固定在二號磁靴(11)上，二號磁靴(11)設置在真空腔室頂部(13)。

2.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的上絕緣塊(2)的剖面為H形，上絕緣塊(2)的上下方分別構成上卡槽與下卡槽，下卡槽與車體(1)上方對應設置，上卡槽與一號磁靴(3)的下方對應設置。

3.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的T形磁鐵護套(9)內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁S極(10)；倒U形磁鐵護套(4)內設置磁鐵空腔，磁鐵空腔內設置強磁N極(5)，倒U形磁鐵護套(4)內的強磁N極(5)與一號磁靴(3)的上方對應設置。

4.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的下絕緣座(6)的上方設置上卡槽，下方設置弧形凹槽，上卡槽與車體(1)下方對應設置，弧形凹槽與傳動導向桿(7)對應設置。

5.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的T形磁鐵護套(9)與倒U形磁鐵護套(4)位于同一垂直線上。

6.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的T形磁鐵護套(9)內的強磁S極(10)垂直于二號磁靴(11)。

7.根據權利要求1所述的一種真空磁控濺射鍍膜磁懸浮傳動裝置，其特征在于：所述的強磁N極(5)采用3200-4500高斯的釤鈷磁鐵，強磁S極(10)采用3800-5000高斯的釤鉆磁鐵。