[實用新型]一種適用于晶圓的切割裝置

有效

• 申請號: 201420860648.1
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN204504514U
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 劉思佳
• 申請（專利權）人: 蘇州凱锝微電子有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/03;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

技術領域

本實用新型涉及一種適用于晶圓的切割裝置，屬于晶圓切割技術領域。

背景技術

隨著晶圓的使用需求越來越大，晶圓的加工生產的效率亟需提高。在現有技術中對晶圓大多是采用激光切割方式，這種方式不僅無污染而且效率高，但是在節能方面，由于激光切割本身的耗能就相對比較大，因此雖然效率高了，但是實際生產過程中的能源消耗也是很大的，給企業的生產提高了很大的成本。

實用新型內容

為解決現有技術的不足，本實用新型的目的在于提供一種節省能源的晶圓切割裝置。

為了實現上述目標，本實用新型采用如下的技術方案：

一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，包括承載托盤、傳送帶、切割模塊和檢料模塊；所述承載托盤在傳送帶上傳送；所述傳送帶包括第一傳送帶和第二傳送帶；所述檢料模塊設置在第一傳送帶上，所述切割模塊設置在第二傳送帶上；所述切割模塊包括定位電缸和位于所述定位電缸上的激光切割器；所述定位電缸包括x軸電缸、y軸電缸和z軸電缸；所述激光切割器位于x軸電缸上。

前述的一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，所述x軸電缸的一端設置在所述z軸電缸上，所述z軸電缸設置在所述y軸電缸上。

前述的一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的末端設置有z軸方向的滑軌，所述滑軌用于z軸電缸的垂直滑動。

前述的一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，還包括計數裝置；所述計數裝置設置在切割模塊的后方。

前述的一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，所述y軸電缸的側面設置有啟動按鈕和急停開關。

前述的一種適用于晶圓的切割裝置，其特征是，所述第一傳送帶和第二傳送?帶之間的距離為1-5mm；所述第一傳送帶的水平高度比第二傳送帶的水平高度高1-3mm。

本實用新型所達到的有益效果：采用來料檢測模塊進行監控是否有待加工的晶圓傳送過來，當CCD檢料模塊檢測到有晶圓時，控制模塊啟動第二傳送帶以及切割模塊，這樣可以節省一部分的能源浪費，x、y、z三軸電缸的設計可以使得激光切割器在切割的過程中更加容易定位，切割準確且效率高。同時，計數模塊的加入能夠方便工作人員的統計工作，大大地減少了工作量。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中附圖標記的含義：

1-檢料模塊，201-第一傳送帶，202-第二傳送帶，3-y軸電缸，4-滑軌，5-z軸電缸，6-x軸電缸，7-承載托盤，8-計數模塊。?

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

本實用新型涉及的一種適用于晶圓的切割裝置，包括承載托盤7、傳送帶、切割模塊、檢料模塊1和計數裝置。承載托盤7在傳送帶上傳送。傳送帶包括第一傳送帶201和第二傳送帶2012，檢料模塊1設置在第一傳送帶201上，切割模塊設置在第二傳送帶202上。計數裝置8設置在切割模塊的后方，能夠方便工作人員的統計工作，大大地減少了工作量，計數裝置8可以采用紅外激光原理進行計數。

如圖1，切割模塊包括定位電缸和激光切割器。定位電缸包括x軸電缸6、y軸電缸3和z軸電缸5。激光切割器位于x軸電缸6上。x軸電缸6的一端設置在z軸電缸5上，z軸電缸5設置在y軸電缸3上。y軸電缸3的末端設置有z軸方向的滑軌4，滑軌4用于z軸電缸5的垂直滑動。這樣z軸電缸5在滑軌4上進行垂直方向也就是z軸方向的滑動，在y軸電缸3上進行y軸方向的滑動，x軸電缸6在z軸電缸5上進行x軸方向的滑動。整個定位電缸只有y軸電缸3是固定不動的。y軸電缸3的側面設置有啟動按鈕和急停開關，用作緊急狀況下?的備用按鈕。

檢料模塊1包括控制模塊和CCD檢料模塊。控制模塊用于控制第二傳送帶202的啟動和切割模塊的運作。檢料模塊1進行監控是否有待加工的晶圓傳送過來，當CCD檢料模塊檢測到有晶圓時，控制模塊啟動第二傳送帶202，可以節省一部分的能源浪費，x、y、z三軸電缸的設計可以使得激光切割器在切割的過程中更加容易定位，切割準確且效率高。

第一傳送帶201和第二傳送帶202相互獨立工作，兩者之間的距離為1-5mm，這樣便于承載托盤從第一傳送帶201和傳動到第二傳送帶202。進一步地，第一傳送帶201的水平高度比第二傳送帶202的水平高度高1-3mm以便以承載托盤平穩地過渡。

以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和變形，這些改進和變形也應視為本實用新型的保護范圍。