[實(shí)用新型]高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420846640.X
• 申請(qǐng)日: 2014-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204281588U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 施利君;徐鴿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州晶洲裝備科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C03C15/00
• 分類(lèi)號(hào): C03C15/00
• 代理公司: 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 32103
• 代理人: 項(xiàng)麗

技術(shù)領(lǐng)域

?本實(shí)用新型涉及一種刻蝕系統(tǒng)，具體地涉及一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。

背景技術(shù)

目前，在平板顯示行業(yè)大世代線體中，如3.5代線以上，?ITO玻璃在清洗工藝制程中會(huì)經(jīng)過(guò)刻蝕、高低壓噴淋、液切、風(fēng)切等制程。在這些制程中，為了保持基板行進(jìn)的穩(wěn)定性，必須在基板的上表面邊緣5mm范圍內(nèi)使用壓片滾輪壓住玻璃基板，且這種壓力必須均勻、穩(wěn)定。在目前所知的所有清洗設(shè)備中，所有設(shè)備制造商均采用固定式的壓片滾輪對(duì)基板進(jìn)行壓緊。這種滾輪在使用前必須根據(jù)基板的厚度調(diào)出合適的間隙，而且每次間隙調(diào)整均極其耗時(shí)，且調(diào)整完畢后，受機(jī)械振動(dòng)，材料蠕變等因素影響，長(zhǎng)時(shí)間使用依然會(huì)有卡片、碎片、打滑等風(fēng)險(xiǎn)。而且現(xiàn)有的ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)均采用噴淋式的刻蝕方式，即在基板上方設(shè)置多組搖擺噴管，該種方式在使用傳統(tǒng)刻蝕液時(shí)效果良好，而在使用活性較強(qiáng)的新式刻蝕液（如HCl）時(shí)，往往產(chǎn)生嚴(yán)重的刻蝕不均現(xiàn)象(原因)。因此有必要在此基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)出具有更高性能和更高穩(wěn)定性的ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足而一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種高穩(wěn)定性ITO玻璃刻蝕系統(tǒng)，它包括相連接的刻蝕組件和水洗組件，所述刻蝕組件和所述水洗組件安裝有多個(gè)分離式傳動(dòng)組件，所述分離式傳動(dòng)組件包括安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件外的第一磁力輪、安裝在所述刻蝕組件或所述水洗組件內(nèi)且與所述第一磁力輪相對(duì)應(yīng)的第二磁力輪、端部與所述第二磁力輪相連接的滾軸以及安裝在所述滾軸上且間隔設(shè)置的滾輪以及用于帶動(dòng)所述第一磁力輪轉(zhuǎn)動(dòng)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。

優(yōu)化地，所述水洗組件設(shè)置于所述刻蝕組件的下方，所述刻蝕組件通過(guò)安裝在其端部的升降組件與所述水洗組件相連接。

進(jìn)一步地，所述刻蝕組件和所述水洗組件內(nèi)安裝有設(shè)置在所述分離式傳動(dòng)組件上方且與其相配合的多個(gè)間隙自適應(yīng)壓片滾輪，所述間隙自適應(yīng)壓片滾輪包括：

滾輪外套，所述滾輪外套內(nèi)圈設(shè)置有間隔的多個(gè)凸起；

卡套，所述卡套設(shè)置有與所述凸起相配合的多個(gè)卡齒，它通過(guò)所述卡齒卡合于所述滾輪外套的一側(cè)；

支撐件，所述支撐件包括設(shè)置于所述滾輪外套另一側(cè)的第一柱體以及與所述第一柱體側(cè)面相連接且插入所述滾輪外套和所述卡套的第二柱體，所述第一柱體的直徑大于所述凸起內(nèi)端形成的圓形直徑；

彈性件，所述彈性件放置在被所述支撐件和所述卡套圍住的所述凸起之間，所述彈性件向所述滾輪外套中心軸的方向延伸。

進(jìn)一步地，所述刻蝕組件包括依次相連接的預(yù)處理單元、刻蝕單元和水洗單元，所述預(yù)處理單元包括分別安裝于其兩端部的第一離子泵、安裝在所述第一離子泵之間的紫外燈以及用于向其內(nèi)導(dǎo)入氧氣的氧氣閥，所述刻蝕單元包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對(duì)ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個(gè)第一噴淋管、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管上游的第一液刀以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第一噴淋管下游的一組第一風(fēng)刀以及用于收集刻蝕液并將再導(dǎo)入所述第一噴淋管和所述第一液刀中的循環(huán)機(jī)構(gòu)，所述水洗單元包括設(shè)置于其內(nèi)部用于對(duì)ITO玻璃進(jìn)行上下噴淋的多個(gè)第二噴淋管、設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管上游的第二液刀以及設(shè)置于其內(nèi)部并位于所述第二噴淋管下游的第一超級(jí)液刀。

進(jìn)一步地，所述第一液刀和所述第二液刀的結(jié)構(gòu)相同，它們均包括相對(duì)應(yīng)合蓋的兩塊液刀板、形成于兩塊所述液刀板之間的第一腔體、形成于兩塊所述液刀板下端部的出液條縫，兩塊所述液刀板之間還形成有與所述第一腔體相連通的第二腔體，所述第二腔體與所述出液條縫相連通，所述第二腔體的截面為圓形或者橢圓形。

進(jìn)一步地，所述刻蝕組件還包括連接于所述預(yù)處理單元和所述刻蝕單元之間的第一緩沖單元以及連接于所述刻蝕單元和所述水洗單元之間的第二緩沖單元，所述第一緩沖單元的兩端分別安裝有一組第二風(fēng)刀，所述第二緩沖單元內(nèi)設(shè)有一組第三風(fēng)刀，所述第一緩沖單元在其與所述刻蝕單元的連接處以及所述第二緩沖單元在其與所述刻蝕單元的連接處設(shè)有防結(jié)晶機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述防結(jié)晶機(jī)構(gòu)包括用于對(duì)應(yīng)遮擋住所述刻蝕單元進(jìn)料口和出料的擋板、與所述擋板相連接用于帶動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的把手、用于盛放浸潤(rùn)液從而浸泡所述擋板和所述把手的浸潤(rùn)槽、與所述浸潤(rùn)槽相連通的流量計(jì)和閥門(mén)。

進(jìn)一步地，所述水洗組件包括依次相連接的多個(gè)大流量水洗單元和風(fēng)干單元。